公开(公告)号：CN116449879A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202310005822.8

申请日：2023-01-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 长井健太郎 ,  松浦和宏 ,  宫田芳树 ,  松本飒太 ,  久森阳介

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。

公开(公告)号：CN115523425A

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202210710614.3

申请日：2022-06-22

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 松本飒太 ,  长井健太郎 ,  久森阳介 ,  松浦和宏

IPC: F17D3/01 ,  F17D3/18 ,  F17D1/00

Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法，为防止从流体控制中输出的计算流量的不自然的举动，流体控制装置在流道上设置有流体控制阀、以及上、下游侧压力传感器，具备：实际流量计算部，根据上、下游侧压力传感器的测量压力计算流量；以及流量输出部，输出由实际流量计算部计算出的计算流量，在判断为流体控制阀为关闭状态的情况下，流量输出部发挥与计算流量无关地输出零值的零输出功能，还具备切换部，切换部对流量输出部的零输出功能的执行和停止进行切换，在流体控制阀为打开状态并且从上游侧的测量压力减去下游侧的测量压力得到的差比规定的停止阈值大的情况下，切换部使零输出功能停止，使流量输出部输出计算流量。