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公开(公告)号：CN106323391B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201610486967.4
申请日：2016-06-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 高仓洋
IPC: G01F1/56
Abstract: 本发明提供流量测量装置和流量控制装置，不会牺牲PWM型D/A转换器所具有的简单性和低价性，能使要求的响应速度和精度双方成立。流量测量装置(100)具备将表示测量流量的值的数字流量信号转换为模拟流量信号的模拟转换部(4)，模拟转换部(4)包括：PWM信号生成电路(5)，能输出预定的三个以上的规定电压电平，根据数字流量信号表示的测量流量的值，从规定电压电平中选择相邻的两个规定电压电平，另一方面根据所述数字流量信号表示的测量流量的值，设定占空比，并生成使两个规定电压电平成为高电平和低电平的PWM信号；转换电路(6)，使从PWM信号生成电路(5)输出的PWM信号平滑化并转换为模拟流量信号。
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公开(公告)号：CN106323391A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610486967.4
申请日：2016-06-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 高仓洋
IPC: G01F1/56
Abstract: 本发明提供流量测量装置和流量控制装置，不会牺牲PWM型D/A转换器所具有的简单性和低价性，能使要求的响应速度和精度双方成立。流量测量装置(100)具备将表示测量流量的值的数字流量信号转换为模拟流量信号的模拟转换部能输出预定的三个以上的规定电压电平，根据数字流量信号表示的测量流量的值，从规定电压电平中选择相邻的两个规定电压电平，另一方面根据所述数字流量信号表示的测量流量的值，设定占空比，并生成使两个规定电压电平成为高电平和低电平的PWM信号；转换电路(6)，使从PWM信号生成电路(5)输出的PWM信号平滑化并转换为模拟流量信号。(4)，模拟转换部(4)包括：PWM信号生成电路(5)，
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公开(公告)号：CN102483340B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201080039133.X
申请日：2010-09-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
CPC classification number: G01F1/698 , G01F1/6847
Abstract: 为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性，本发明的流量传感器包括流量计算部(41)，该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时，基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10，算出流量Q，所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS，对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
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公开(公告)号：CN102483340A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039133.X
申请日：2010-09-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
CPC classification number: G01F1/698 , G01F1/6847
Abstract: 为了防止质量流量的变化对流量传感器的输出造成影响并且进行以往未考虑过的零点输出的温度修正从而提高线性，本发明的流量传感器包括流量计算部(41)，该流量计算部(41)在将与位于上游侧的电阻体(2u)对应的恒温控制电路(3u)的输出设为Vu、将与位于下游侧的电阻体(2d)对应的恒温控制电路(3d)的输出设为Vd、且将流体的流量设为Q时，基于使用了至少在某流量Q的范围内满足式数学式9的Xd/Xu的数学式10，算出流量Q，所述流量计算部41通过定义为Vu+VdXd/Xu的函数的零偏函数OFS，对作为流量Q为零时的输出的零点输出进行修正。
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公开(公告)号：CN119878881A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411457562.9
申请日：2024-10-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 高仓洋
IPC: F16K31/00
Abstract: 本发明提供流体控制阀、流体控制装置和驱动电路，能够在压电致动器的充电时和放电时不切换动作模式而精度良好地控制压电致动器的输出电压，压电致动器的驱动电路包括：回扫变压器，初级线圈连接于直流电源，次级线圈连接于压电致动器；连接于初级线圈的充电开关；连接于次级线圈的放电开关；回收电容器，连接于初级线圈，回收压电致动器的放电能量；以及开关控制部，控制充电开关和放电开关的接通断开动作，开关控制部通过控制所述充电开关和所述放电开关的接通断开动作，使所述压电致动器的充电和放电反复进行，从而控制所述压电致动器的施加电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116615795A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180081278.4
申请日：2021-10-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 高仓洋
IPC: H01J49/42
Abstract: 本发明降低在四极质谱仪中由变压器所引起的温度影响，并具备：离子化部(21)，其将试样离子化；四极部(23)，其具有使由离子化部(21)所产生的离子选择性地通过的两组相向电极(23P)；电压施加部(32)，其向两组相向电极(23P)分别施加将直流电压U与高频电压Vcosωt叠加而得的电压；以及离子检测部(24)，其检测通过四极部(23)的离子，电压施加部(32)具有对高频电压Vcosωt进行变压的变压器(4)，变压器(4)是在环形磁芯(41)卷绕初级绕组(42)和次级绕组(43)而构成的部件，初级绕组(42)由呈板状的金属导体形成。
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公开(公告)号：CN105320159B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201510314410.8
申请日：2015-06-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制测量系统的供电装置。为了防止管理多个流量控制装置(101)的供电装置(102)的电源装置大型化，在控制流体流量的多个流量控制装置(101)上分别连接电缆，通过该电缆(8)管理各流量控制装置(101)的动作并向各流量控制装置(101)供电，其中，供电装置具有供电控制部(10)，该供电控制部(10)使针对至少一部分流量控制装置(101)的供电开始时机偏移。
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公开(公告)号：CN102829828B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201210200481.1
申请日：2012-06-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F1/50 , Y10T137/7722
Abstract: 本发明提供流量测量装置(10)和流量控制装置(100)，能提高流量测量精度而不损害紧凑性。流量测量装置(10)包括：流过测量对象流体的流体阻力部件(3)；上游压力传感器(21)，能依对象流体导向的感压面上粘贴的电阻元件(2B)的电阻值的变化测量流体阻力部件(3)的上游压力，且能依电阻元件(2B)因温度产生的电阻值的变化测量所述感压面的温度；温度检测部件(8)，配置于能测量流过流体阻力部件(3)的对象流体的温度的位置；以及流量计算部(9)，至少根据由上游压力传感器(21)测量到的上游流路的压力、所述流体阻力部件的压力—流量特性、由上游压力传感器(21)测量到的压力传感器的温度和由温度检测部件(8)测量到的流体阻力部件(3)中的对象流体的温度，计算出该对象流体的流量。
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公开(公告)号：CN102564509B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110319279.6
申请日：2011-10-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F15/068 , G01F15/005
Abstract: 本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3)，所述MFC(2)包括：流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1)，该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据，该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算，所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据，并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和所述流量计算相关数据进行流量计算。
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公开(公告)号：CN105320159A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510314410.8
申请日：2015-06-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制测量系统的供电装置。为了防止管理多个流量控制装置(101)的供电装置(102)的电源装置大型化，在控制流体流量的多个流量控制装置(101)上分别连接电缆，通过该电缆(8)管理各流量控制装置(101)的动作并向各流量控制装置(101)供电，其中，供电装置具有供电控制部(10)，该供电控制部(10)使针对至少一部分流量控制装置(101)的供电开始时机偏移。
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