工件加工用片及已加工工件的制造方法

    公开(公告)号:CN111149191A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201880063272.2

    申请日:2018-09-12

    Abstract: 本发明为一种工件加工用片,其具备基材与层叠于所述基材的单面侧的粘着剂层,所述工件加工用片的特征在于,所述粘着剂层由活性能量射线固化性粘着剂构成,所述粘着剂层的与所述基材为相反侧的面的、利用X射线光电子能谱分析所测定的氧原子比率R0为28原子%以下,且在所述粘着剂层内的位置中,在距所述粘着剂层的与所述基材为相反侧的面的深度为100nm的位置处,利用X射线光电子能谱分析所测定的氧原子比率R100为20原子%以上、29原子%以下。该工件加工用片能够利用流水良好地去除附着于加工后的工件的源自粘着剂层的粘着剂,且同时可良好地分离加工后的工件。

    半导体加工片用基材膜以及半导体加工片

    公开(公告)号:CN108701598A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201780012808.3

    申请日:2017-01-25

    Abstract: 本发明提供一种半导体加工片用基材膜,其为用于具备基材膜、以及层叠于基材膜的至少一面侧的粘着剂层的半导体加工片的半导体加工片用基材膜,其特征在于,含有氯乙烯类树脂,并进一步含有对苯二甲酸酯、己二酸酯及硬脂酸钡。本发明还提供一种具备该基材膜的半导体加工片。根据所述半导体加工片用基材膜以及半导体加工片,即使将邻苯二甲酸烷基酯的代替物质用作增塑剂,也能够显示充分的扩展性且具有良好的拾取性能,进一步能够抑制该拾取性能的经时性降低,并且能够在从被粘物上剥离时抑制残渣物的产生。

    保护膜形成用复合片
    54.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108701597A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201680081330.5

    申请日:2016-12-08

    CPC classification number: H01L23/00

    Abstract: 本发明的保护膜形成用复合片具备支撑片、在所述支撑片的一个表面上具备保护膜形成用膜、且在所述支撑片的与具有所述保护膜形成用膜的一侧相反侧的表面上具备涂敷层而成,其中,所述涂敷层的与所述支撑片相接触的一侧相反侧的表面的表面粗糙度Ra小于所述支撑片的具备涂敷层的一侧表面的表面粗糙度Ra。

    带保护膜形成层的切割片和芯片的制造方法

    公开(公告)号:CN104541360A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201380044084.2

    申请日:2013-08-22

    Abstract: 本发明提供一种带保护膜形成层的切割片,其能够简便地制造具有均匀性高、印字精度优异的保护膜的半导体芯片,能够容易地进行保护膜与切割片之间的剥离,并且切割时芯片的固定能力优异。本发明涉及的带保护膜形成层的切割片的特征在于:在包含胶粘成分和游离的含环氧基的化合物的胶粘剂层叠层于基材膜上而形成的胶粘片的胶粘剂层上,可剥离地设置有保护膜形成层。

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