保护膜形成用复合片
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118027840A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410233893.8

    申请日:2017-04-25

    Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用复合片,其具备支撑片、并在支撑片上具备能量射线固化性的保护膜形成用膜,在对保护膜形成用膜照射能量射线而制成保护膜时,保护膜与支撑片之间的粘着力为50~1500mN/25mm。

    保护膜形成用复合片
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107615454B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201680032214.4

    申请日:2016-06-03

    Abstract: 本发明提供一种保护膜形成用复合片,其具有:基材、具有活性能量线固化性的粘合剂层、及具有热固性的保护膜形成用膜,其中,该保护膜形成用复合片用于通过下述方式制造带保护膜的半导体芯片:将该保护膜形成用复合片通过该保护膜形成用膜而粘贴于半导体晶片的背面之后,使该保护膜形成用膜固化成为保护膜,接着,在对该半导体晶片进行切割而得到半导体芯片之后,使该粘合剂层固化,然后将该半导体芯片连同该保护膜一起进行拾取,由此制造带保护膜的半导体芯片,该粘合剂层至少在与所述保护膜形成用膜接触的层中含有(甲基)丙烯酸烷基酯共聚物,该共聚物具有由构成烷基酯的烷基的碳原子数为8以上的(甲基)丙烯酸烷基酯衍生的结构单元。

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