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公开(公告)号:CN101144812B
公开(公告)日:2012-02-22
申请号:CN200710176015.3
申请日:2007-10-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种局域表面等离子体生化传感器的制作方法,步骤如下:(1)根据透射波长的需要选择基底材料,并对基底进行清洗、干燥;(2)将清洗干净的基底平放在水平面上,然后均匀的组装一层纳米球;(3)待组装后的纳米球干燥后,在组装后的球和基底上蒸镀一层金属,然后用氮气进行干燥;(4)根据基底和纳米球的折射率的特点选择不同折射率的胶旋涂在金属表面,然后干燥,这就完成了传感器的制作。本发明的两层银纳米粒子产生的局域表面等离子体(LSPR)波互相影响,使透过率更加均匀;而且这种微纳结构可以用作生物样品的基底,使生物分子更易结合上去,从而提高纳米传感器的检测效率和灵敏度。
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公开(公告)号:CN102096334A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN201010617826.4
申请日:2010-12-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种基于移相原理提高分辨率的超衍射成像器件及其制作方法,该超衍射成像器件相邻的透光区通过交替填充具有正负介电系数的两种材料,分别实现相位延迟和相位超前,大大增强了材料厚度对相位差的调制,使该器件更容易实现π相位差,从而进一步提高其成像分辨率。这一方案解决了传统超衍射成像器件难以实现40nm线宽以下分辨率的技术难题,在超分辨成像和纳米光刻技术中具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN101614593B
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200910089094.3
申请日:2009-07-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 一种反射棱锥波前传感器,四个反射镜与反射棱锥配合对入射光分束反射、2×2微透镜阵列对反射子光束中继成像,在光电探测器的四个象限上形成四个子光瞳像,通过四个子光瞳像的光强分布差异计算出波前斜率信息,进而重构波前畸变相位分布。本发明光能利用率高,测量动态范围大、无色散和衍射效应,体积小、结构紧凑、易于调整,可适用于自适应光学系统对波前进行测量。
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公开(公告)号:CN101614593A
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200910089094.3
申请日:2009-07-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 一种反射棱锥波前传感器,四个反射镜与反射棱锥配合对入射光分束反射、2×2微透镜阵列对反射子光束中继成像,在光电探测器的四个象限上形成四个子光瞳像,通过四个子光瞳像的光强分布差异计算出波前斜率信息,进而重构波前畸变相位分布。本发明光能利用率高,测量动态范围大、无色散和衍射效应,体积小、结构紧凑、易于调整,可适用于自适应光学系统对波前进行测量。
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公开(公告)号:CN101144809A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710176010.0
申请日:2007-10-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种高灵敏度的纳米生物传感器制作方法,步骤为(1)选择基底材料,完成金属纳米阵列的制作;(2)将基底浸泡入所配制的生物活性化学试剂溶液之中,使金属表面带上与生物分子相对应的活性基团,使得抗原与银粒子阵列的结合更加容易,生物活性化学试剂为辛烷硫醇1-OT和含氢硫基的十一醇酸11-MUA,溶剂为乙醇;(3)将得到浸泡后的基片取出,清洗去掉基片表面残留物质,并吹干;(4)选择与被探测分子相对应的抗原以及零距离耦合试剂;(5)将抗原溶液以及零距离耦合试剂溶液进行混合,然后将其滴加在基片表面,使其发生耦合反应,反应时间为3小时以上;(6)再将基片进行冲洗,去除基片表面残留物质,并吹干,即完成纳米传感器的制作。极大的提高了该传感器的灵敏度。
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公开(公告)号:CN1975507A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200610165157.5
申请日:2006-12-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 添加导引光的条阵大功率半导体激光器(High-Power Laser Diode Bar,简称LD)的整形方法:(1)通过计算光纤纤芯半径和孔径角一半的乘积,以及LD光束在快慢轴两个方向上的光参数积,确定对LD光束整形所需要折叠的次数,制作高反射效率的整形器;(2)采用快慢轴准直透镜阵列对分别对LD的快慢轴两个方向进行准直,得到条形的准直光斑;(3)安装整形器,实现光束的整形;(4)安装聚焦透镜和光纤,调节光纤到合适的位置,使输出的LD的功率最大;(5)从整形器的合适位置入射导引光,调节导引光到适当的位置,使从光纤输出的导引光的光功率达到最大。本发明光路设计紧凑合理,不改变LD的光路,避免了在LD光路中引入新的散射和反射损失,保证了LD的光路稳定性。
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公开(公告)号:CN113820850B
公开(公告)日:2023-08-11
申请号:CN202110965435.X
申请日:2021-08-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件,该器件由多个完全相同的单元以一定的规则排列在衬底表面而形成。所述的单元包括支撑柱、镜面和电极。支撑柱起到支撑镜面的作用,镜面中部下方与支撑柱相连,四周边缘悬空。电极位于镜面的正下方,即支撑柱的四周。镜面初始未工作时呈凹面,其曲率可由加工工艺决定。入射平行光照射到镜面,根据几何光学可知反射光将会发生汇聚。给镜面及电极施加一定的直流电势差,则由于静电力的吸引,镜面边缘会向下弯曲,从而使整个镜面由凹面变为凸面,因而将使反射光发散。本发明通过镜面的变形,可以实现汇聚光束的开启和关闭,从而完成了传统微透镜和微快门共同才能完成的功能。
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公开(公告)号:CN103646982B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201310674487.7
申请日:2013-12-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01L31/054 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/52 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种用于薄膜太阳能电池的陷光结构及制作方法,所述陷光结构由微透镜阵列(1)、微透镜阵列的基底(2)、带微孔阵列的反射膜层(4)以及反射镜(5)组成,反射膜层(4)上微孔阵列的位置与微透镜阵列(1)焦点的位置一一对应且重合,带微孔阵列的反射膜层(4)与反射镜(5)之间形成一个腔体(6)。太阳光经微透镜阵列聚焦后,由微孔阵列注入到腔体中,并在带微孔阵列的反射膜层与反射镜间形成多次反射,从而实现对太阳光的陷光效果,将薄膜太阳能电池置于该腔体中即可实现太阳光吸收增强,提高光电转换效率。该陷光结构具有结构简单、光能利用率高、兼容性好等优点,可广泛应用于各类薄膜太阳能电池,在探索高效率薄膜太阳能电池研究方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN103100730B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201310033272.7
申请日:2013-01-29
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B23B25/06
Abstract: 本发明一种衍射元件的计算机辅助对心装校装置及方法,包括车床主轴、位置传感器、卡盘、专用夹具、驱动器、螺纹压圈、镜座、硅胶、衍射元件、车床导轨、车刀、分化板、超长工作距显微物镜、光源、半反半透镜、CCD相机、CCD成像透镜组、计算机、十字标记;在衍射元件中心加工出用于对心的特殊十字标记,对心检测单元检测对心偏差的同时,计算机根据位置传感器反馈的位置数据自动调节卡盘位置,直到对心精度满足公差要求,卡盘的自动调节停止。最后定心车削装有衍射元件的镜座再装入镜筒。该方法和装置解决了衍射元件对心装校时无法产生对心球心像、手动调节卡盘效率低和精度低等问题,实现衍射元件对心装校的计算机辅助控制。
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公开(公告)号:CN103076162A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201310042037.6
申请日:2013-02-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种亚波长光栅周期的测量器件,由标准光栅和金属介质多层膜组成,金属-介质多层膜由多层介质层和多层金属层为相间隔放置;介质层的上层位于标准光栅的下方,金属层的底层位于待测光栅上方,将电场方向与标准光栅方向垂直的线偏振入射光照射到标准光栅上,标准光栅产生多级携带高空间频率的衍射波,并通过金属介质多层膜滤波;滤过透射波与待测光栅差频形成能观测的长周期干涉条纹;最后观察测量干涉条纹并确定待测光栅周期。
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