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公开(公告)号：CN102788563A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210319845.8
申请日：2012-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法，该装置包括菲索移相干涉仪，标准镜，半透半反镜，被测镜，激光自准直仪，二维平移台，倾斜调整装置，转台，平面反射镜，计算机，探测器和聚焦透镜，利用该装置在第一子孔径位置处进行调平，并建立被测镜和标准镜平行的基准点，然后再在其它子孔径位置处，以此基准点为基准计算被测镜的倾斜量，然后再对被测镜的位姿进行调整，从而减小子孔径面形中的倾斜量，提高平面子孔径拼接测量的精度。
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公开(公告)号：CN104539188A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510001927.1
申请日：2015-01-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度压力驱动装置，所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5)，其中压电陶瓷放置于方向导槽中，方向导槽上端存在一个开孔，压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出，方向导槽下端也存在一个开孔，用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作；弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力，并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下，精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力，且物体形变与作用力成线性关系，因而本装置能够对被控制面进行线性控制，更准确地控制面形。
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公开(公告)号：CN102788562B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210304174.8
申请日：2012-08-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置，将待测镜放置在二维平移台上，计算机控制二维平移台使待测镜在平面上进行二维运动，待测镜两个侧面放置反射镜，同时反射镜对面放置测长干涉仪系统，测长干涉仪系统通过五路激光，测出待测镜二维运动后的x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜，测长干涉仪系统将测量数据反馈到计算机，利用子孔径位置补偿算法来将x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜误差带入算法中去拼接计算。本发明在原有的子孔径拼接算法基础上，通过测量子孔径拼接过程中的定位、倾斜误差并带入算法来提高测量精度。
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公开(公告)号：CN1670564A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510011241.7
申请日：2005-01-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 同轴对称型微反射镜阵实现半导体激光器光束整形方法，首先半导体激光器阵列准直光束在方向校正微反射镜阵列通光窗口位置处以线光斑的形式入射到光束分割微反射镜阵列，中间部分光束直接穿过光束分割微反射镜阵列窗口，左边的分割微反射镜将入射到该反射镜上的光束向下和向中间反射，右边的分割微反射镜对入射到该微反射镜的光束向上向和向中间反射，在往回反射到方向校正微反射镜阵列的位置处，这两部分光束都与中间直接穿过部分形成线光束堆，经过方向校正微反射镜阵列后，所有的光束均沿原先光路的光轴方向传输，此时，快轴方向的光斑尺寸增大了N倍，慢轴方向的光斑尺寸减小到原来的1/N。这样就实现了线光束到圆光束或正方形光束的变换。本发明具有光束整形效率高、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN1180232C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN01108756.0
申请日：2001-08-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种快速、简便的测量激光光束发散角的方法。本发明采用被检激光器、光阑、标准镜头、CCD相机和计算机组成的测量装置，用CCD相机接收激光器的光束在标准镜头的后焦面处形成的聚焦光斑的信号，通过计算机处理CCD相机输出的光斑信号，计算出激光器发出的激光光束的远场发散角2θ。本发明提供的方法操作简单，且能同时测量激光在各个不同方向的光束发散角，尤其适合测量小口径、小发散角、以及非径向对称的激光光束。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN104539188B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510001927.1
申请日：2015-01-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度压力驱动装置，所述装置包括压电陶瓷(1)、方向导槽(2)、弹性簧片陶瓷放置于方向导槽中，方向导槽上端存在一个开孔，压电陶瓷的上端可从开孔中部分伸出，方向导槽下端也存在一个开孔，用于与安装底座连接。压电陶瓷的作用在于实现超微量超快速的位移动作；弹性簧片的作用在于承受压电陶瓷的作用力，并产生相应的弹性形变。所述装置可在作用力输出端存在不断变化的微小位移的情形下，精确快速地输出恒定的作用力。由于本发明装置的直接输出为作用力，且物体形变与作用力成线性关系，因而本装置能够对被控制面进行线性控制，更准确地控制面形。(3)、微位移探测器(4)和安装底座(5)，其中压电
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公开(公告)号：CN103499309B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201310473266.3
申请日：2013-10-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法，自动干涉检测系统包括了独立地基，第一振动测量探头，主动隔振系统，大理石平台，第二振动测量探头，第三振动测量探头，调整架，转台，待测镜架，第四振动测量探头，第一导轨，第二导轨，干涉仪衍架，温度测量探头，外壳，干涉仪测量头，第五振动测量头，计算机组成。第一振动测量探头用于测量地面垂直振动，第二振动测量探头用于测量水平振动，第三振动测量探头用于测量平台台面垂直振动，第四振动测量探头用于测量待测镜架上振动，第五振动测量探头用于测量干涉仪测量头上垂直振动，温度测量探头用于测量干涉仪测量头和待测镜架之间的温度。
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公开(公告)号：CN104034279A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410264644.1
申请日：2014-06-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B9/02038 , G01B9/02001 , G01B9/02041 , G01B11/2441
Abstract: 本发明提供一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经第一光学调整架，第二聚光镜组照射到小孔。小孔产生的一部分衍射光照射到待测镜面，待测镜面的反射光经小孔边框反射后与小孔的另一部分衍射波面产生干涉条纹，干涉条纹经过会聚光学单元，再由光学探测器收集。待测镜面放置在第二光学调整架上，可以沿待测镜法线方向进行移动，进行环孔径拼接测量，同时可以控制第一光学调整架旋转和平移，对待测镜面进行扫描拼接测量。
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公开(公告)号：CN102735184A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210199391.5
申请日：2012-06-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种光学面形的检测装置及检测方法，激光器发射的光经过分光镜、准直光学系统、反射镜、参考面反射后产生参考光，参考平面和待测平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制参考平面的旋转，平移台控制待测平面的移动。平移台使待测平面移动来测量待测平面上不同的子孔径，转台用来控制参考平面的旋转，在原有的三平面测量的算法基础上，只用两个平面在子孔径拼接过程中就解出两个平面的面形信息。本发明提高检测的精度，同时在检测过程中不更换镜子，用两个平面就完成了绝对测量，提高了检测的重复性和再现性。
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