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公开(公告)号：CN114609815A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210116662.X
申请日：2022-02-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02F1/1333
Abstract: 本发明公开了一种厚玻璃基板的液晶盒制作方法，采用几何尺寸相同的镀制有ITO导电膜的厚玻璃基板分别作为上基板和下基板；上下基板经过超声清洗后，进行烘干处理；在上下玻璃基板的ITO膜表面液晶配向液涂敷、固化，并进行配向处理；在下玻璃基板表面涂布框胶后，放置在基板贴合的定位治具中；将上玻璃基板涂敷配向膜的一面朝下，两端错开3‑5mm后进行上下玻璃基板的贴合；在绿光等的倾斜照射下，观察液晶空盒的反射干涉条纹，用定位治具上的微调螺栓对液晶盒厚进行调整；待通光孔径内的干涉条纹数量满足液晶光学元件的面形要求后固定微调螺栓；用紫外光源对框胶进行预固化；将液晶盒从治具中取出，放入在烘箱中进行热固化，完成液晶空盒的制作。本发明通过机械调整治具结合光学干涉监测分析的方法，解决了厚玻璃基板的液晶盒的均匀性控制工艺技术问题，所用工艺简单，无需复杂机器设备，可以满足具有面形指标的液晶光学元件的制作要求。
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公开(公告)号：CN111575657B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010327812.2
申请日：2020-04-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法，首先通过计算获得纳米叠层周期数，利用离子束辅助沉积技术在基底表面沉积高、低折射率交替的纳米叠层，该离子束辅助纳米叠层薄膜呈现压应力，且其中每层膜的厚度仅为几个纳米；然后利用电子束沉积技术沉积功能膜层，以满足薄膜特定的功能要求。本发明能够解决电子束沉积薄膜在特定使用环境发生薄膜龟裂的问题，适用于任意折射率的光学玻璃基底，提升了应力调控的范围、膜系设计和制备的灵活度、镀膜设备的适用性，并降低了对薄膜激光损伤阈值的影响。
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公开(公告)号：CN114163145A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111283496.4
申请日：2021-11-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种带金属电极的石英基底的封接方法，利用蒸镀法将玻璃焊料均匀镀在带金属电极的石英基底的电极层，并形成玻璃焊料层；将待封接的两块石英基底的玻璃焊料层接触，施加压力，使所述的玻璃焊料层紧密接触；保持压力，并置于高温焊接炉中进行高温焊接，直至焊接完成。以及实施该方法的专用夹具。本发明封接温度低，不仅避免了高温对金属电极的影响，而且玻璃焊料还对金属电极具有保护效果，同时保证了金属电极之间的相互绝缘。
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公开(公告)号：CN112764149B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110021643.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)nM/Sub/HL/Air。本发明在非布儒斯特角度下实现深紫外波段高透过率和高消光比的同时，解决了氟化物多层薄膜张应力大导致的膜层龟裂难题，适用于ArF 0F级熔石英或紫外CaF2基板，可实现入射角为65±1°，波长为180nm‑220nm范围内的某一波长处p光透过率大于91％，消光比大于60:1，对于深紫外光学系统中的偏振控制以及系统轻量化设计有重要的意义。
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公开(公告)号：CN111957675A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010595418.7
申请日：2020-06-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种真空系统中光学元件表面沉积污染物的原位去除方法，本发明通过引入离子源及中和器到真空系统中，利用离子源轰击真空装置中的元件，以消除真空释气沉积污染。本发明适用于真空激光系统中激光光学元件表面污染物原位去除、且不引入新的杂质，可大幅度提高污染物去除效率，提高元件抗激光损伤性能及使用寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109991179B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201910072640.6
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置及测量方法。该装置将光学薄膜样品置于装置腔室之中，并依据薄膜使用环境要求对腔室抽真空或充入不同种类的气体，同时监控装置内的温湿度，以实现对光学薄膜使用环境的模拟。将该装置与分光光度计配合使用，可以测量光学薄膜在所需使用环境状态下的光谱性能。本装置可利用商用分光光度计准确测量光学薄膜在不同使用环境、不同使用角度下的光谱，通用性强且使用方便。
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公开(公告)号：CN106565105B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201610965152.4
申请日：2016-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: C03C17/00
Abstract: 一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。本发明的夹具能对全口径镀膜实现很好的夹持作用，同时结构简单，装夹和卸夹方便，可实现无压痕全口径镀膜。
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公开(公告)号：CN108455023A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810045459.1
申请日：2018-01-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学薄膜元件包装盒，包括盒体和盒盖，所述的盒体具有外侧壁和较侧壁为宽的底板，内底上设置有凹面、凹槽和凸台；所述的盒盖具有内侧壁和内侧壁之底外延的底板，盒盖顶部为圆角；所述盒盖的内侧壁扣在所述的盒体的外侧壁外，所述的盒盖的底板叠加在所述的盒体的底板上，且紧密配合成为一体。本发明能很好地保护镀膜光学元件，具有光学薄膜元件包装安全、操作便捷和有效防止污染的特点。
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公开(公告)号：CN108254816A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810023810.7
申请日：2018-01-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种有效降低色散振荡的双中心波长色散镜对及其制备方法。该双中心波长色散镜对基于一个膜系设计结果，采用双离子束溅射技术在一个镀膜周期内实现双中心波长色散镜对的制备。可有效降低啁啾镜对的设计难度、制备难度，节约制备时间和成本。该色散镜对具有相反的色散振荡相位，配对使用时可显著减少色散振荡。
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公开(公告)号：CN107099772B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710380376.3
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种解决电子束沉积多层膜龟裂的临界层应力的调控方法，综合采用电子束沉积技术和离子束辅助沉积技术，采用离子束辅助沉积技术沉积应力临界层，采用电子束沉积技术沉积应力临界层之外的其他膜层。本发明能够解决电子束沉积较厚膜层时，因膜层张应力太大导致的膜层龟裂问题，且不会增加膜系设计难度和实际制备工艺难度。
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