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公开(公告)号：CN108265269A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810140020.7
申请日：2018-02-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法，该方法的实质是在电子束蒸镀技术的基础上结合离子束辅助沉积技术。根据所设计的膜系，利用电子束蒸镀技术沉积除最外层以外的多层膜，以获取高的抗激光损伤阈值；利用离子束辅助沉积技术沉积最外层，以获取致密的水汽阻隔层，阻止水分子迅速进出多层激光薄膜元件表面。本发明能在保持电子束蒸镀技术制备的多层激光薄膜元件较高的抗激光损伤阈值的同时，提升其环境稳定性。
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公开(公告)号：CN103197367A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310125985.6
申请日：2013-04-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/30 , C03C17/245
Abstract: 一种基于各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片，由基底、各向同性的高低折射率膜层周期性交替组成的高反射膜层以及各向异性的位相延迟层一体构成，各向同性的高反射膜可以实现入射光高反射，各向异性薄膜层为反射位相延迟层，本发明在正入射条件下，可以实现两种入射偏振光波的偏振分离，获得特定的反射位相差。反射位相差通过调节各向异性薄膜层的倾斜沉积角度和厚度来实现，具有很高的设计灵活性。本发明中各向异性薄膜层的引入为反射式位相延迟片的设计提供了新方法。
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公开(公告)号：CN103174758A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310109275.4
申请日：2013-03-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: F16C35/12
Abstract: 一种防卡死的转动装置，其特点在于，该装置包括轴套、第一径向轴承、轴向轴承、第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈、轴套盖、第一隔圈、转动轴、螺栓、转动轴盖、键、传动齿轮和固定板，在所述的转动轴和轴套之间，自内向外依次套设第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈和第一径向轴承，然后套设第一隔圈和轴套盖，通过螺栓和键将转动轴盖和传动齿轮套设在所述的转动轴端口，所述的轴套和固定板固定在一起。本发明具有高负载能力；尤其是轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨制成，具有在高温高真空下长时间稳定运行的能力。解决了镀膜机在高真空、高温、高负载下转动装置的卡死问题。
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公开(公告)号：CN102191475A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110094660.7
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于计算机控制镀膜装置进行镀膜的提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法，该方法包括该方法包括：(1)镀膜前向计算机输入镀膜参数：(2)通过计算机计算选择满足限制条件的监控波长λ和监控片数目，其中λMin＜λ＜λMax，得到一个与所镀膜系的镀膜监控表，包括所镀膜系按顺序的膜层、相应的监控波长和监控片序号；(3)镀膜等步骤。本发明能够自动选择监控波长和所需的最少监控片数目，采用比例式膜厚监控方法，减少了膜厚监控误差，提高了膜厚监控精度，可对规整膜系和非规整膜系进行监控。在膜厚监控系统控制精度不变的情况下，可有效地提高了薄膜的光谱性能。
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公开(公告)号：CN101387551A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200810202062.5
申请日：2008-10-31
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学元件透射光谱自动面扫描测量装置和方法，装置的构成包括光源、光阑、第一会聚镜、单色系统、准直透镜组和第二半透半反镜、参考光路、测量光路、第三半透半反镜、第二会聚镜、待测样品、信号接收系统和计算机，其特点在于：所述的测量光路对水平地放置的待测样品进行测量；所述的计算机具有控制软件，该计算机通过信号线分别与第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、单色系统、二维电动平移台和信号接收系统相连，本发明实现了光学元件的透射光谱测量，可测量的光学元件的最大尺寸为400mm×600mm；利用计算机的控制软件的控制实现了光学元件的自动面扫描测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1971248A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610118432.8
申请日：2006-11-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提供一种高精度薄膜应力实时测量装置及测量方法，该装置由He－Ne激光器、反射镜、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机组成。整个装置可以方便地安装在任一镀膜机上，He－Ne激光器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机均在镀膜机外，激光器光束通过镀膜机观察窗口进入镀膜室，通过反射镜调整方向射到基片上，反射光束再通过反射镜调整方向后从观察窗口出来，光电位敏探测器探测反射光束的偏转位移，数据采集卡采集光电位敏探测器的模拟信号并转化为数字信号给计算机。通过计算机对信号进行处理就可以实时监控薄膜的应力变化。本发明具有结构简单、精确度高、数据处理简便、与镀膜机兼容性强等特点。
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公开(公告)号：CN1877298A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610028625.4
申请日：2006-07-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于镀膜过程中在线的膜层光谱的实时测量装置及其测量方法，该测量装置包括一光学膜厚监控系统，其特征在于还有一计算机，该计算机有两个RS232标准串口，第一串口接所述的光学膜厚监控系统的单色仪，第二串口接所述的光学膜厚监控系统的锁相放大器，所述的计算机与所述的单色仪和所述的锁相放大器进行通讯，按设定的扫描控制程序采集数据并进行数据处理。本发明可以在线获得已镀膜层在不同波长的透过率，即获得已镀膜层在一定波段范围内的光学特性曲线，由此可预知镀膜效果，从而对镀膜过程进行评价和指导。
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公开(公告)号：CN119469675A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202310991032.1
申请日：2023-08-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方法，包括制作与待评估极紫外曲面多层膜反射镜轮廓相同的镀膜夹具，该镀膜夹具上均匀分布有供小尺寸平面元件样品镀膜的孔；获取不同位置处小尺寸平面多层膜反射镜样品的表面粗糙度；计算每个小尺寸平面多层膜反射镜样品的反射率；计算待评估极紫外曲面多层膜反射镜的平均反射率。本发明适用于反射率对粗糙度敏感的短波长薄膜元件；能够在没有极紫外曲面多层膜反射镜反射率测试装置的情况下，实现粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估；同时能够通过小尺寸平面多层膜元件推算大尺寸极紫外曲面多层膜元件的平均反射率，极大地降低了大尺寸极紫外曲面多层膜元件的工艺优化成本。
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公开(公告)号：CN115127781A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210730152.1
申请日：2022-06-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种皮秒激光光学元件的全角度真空激光损伤阈值测试装置与方法，包括光学元件固定系统，损伤用皮秒激光系统，皮秒激光损伤监测系统和激光防护模块；该装置中与真空环境相关的在线CCD成像系统和待测光学元件放置角度固定，将需要调节的部分限制在调节自由度比较大的空气环境，通过利用旋转和上下移动的偏振片方便地实现了真空环境中皮秒激光光学元件的全角度激光损伤测试，避免了涉及真空环境调节不便的问题。该方法在测试区域内采用光斑叠合测试方法，并结合多脉冲辐照考察损伤的稳定性，能够准确评估光学元件在皮秒激光应用下可安全承受的能量密度。
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公开(公告)号：CN111289225B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010119030.X
申请日：2020-02-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种连续激光加载下液晶波片相位调制特性变化的测量装置及测量方法，装置由探测激光器、第一反射镜、平面玻璃分光板、连续激光器、第二反射镜、待测液晶波片、等腰三角楔形板、光束质量分析仪和计算机组成。该方法利用平面玻璃分光板将探测光束分为两束，利用一块等腰三角楔形板使得所述的两束光束偏折，实现两束光的空间干涉。本发明光路简单，对环境不敏感，可以提高相位测试精度，可以准确评估不同激光参数作用对液晶波片相位调制特性的影响。
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