测试半导体器件的探针卡及半导体器件测试方法

    公开(公告)号:CN1271178A

    公开(公告)日:2000-10-25

    申请号:CN99124343.9

    申请日:1999-11-24

    Inventor: 丸山茂幸

    CPC classification number: G01R1/0408 G01R1/07314 G01R31/2831

    Abstract: 本发明涉及测试形成有多个芯片和CSP(芯片尺寸封装)的晶片级的每个芯片上的半导体器件的探针卡和测试方法。探针卡的特征在于,包括:柔性接触板,按预定布局设置于接触板上的多个接触电极,设置于接触板上各电极组之间的刚性基片,其上具有暴露接触电极形成区的接触板的小孔,设置于接触板上与接触电极连接的布线。该探针卡的优点是,在测试晶片级芯片和CSP时,总是可以实现每个芯片和CSP电极焊盘的良好接触。

    温度控制方法和温度控制装置

    公开(公告)号:CN100418190C

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:CN200610059744.6

    申请日:2006-03-06

    CPC classification number: G01R31/2874 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种温度控制方法和温度控制装置,其中受控部件配置成与热传导部件的第一主表面相接触。热传导部件具有第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面。第一主表面的外形与受控部件的外形相对应。第二主表面的面积大于第一主表面的面积。驱动加热单元和冷却单元至少其中之一,以将受控部件调整到预设的温度。加热单元和冷却单元设置在热传导部件的第二主表面上,以使加热单元和冷却单元并排设置。

    接触构件、接触器以及接触方法

    公开(公告)号:CN101084442A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:CN200480044629.0

    申请日:2004-12-15

    CPC classification number: G01R1/06755 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 在接触器中,能够以微细间距配置接触构件,并且能够以小的接触压力来实现可靠的接触。接触构件将电子部件与外部的电路电连接。接触构件采用具有导电性的材料而形成为大致球形的形状。接触构件的中央部分的分子密度比表面附近的分子密度低。具有导电性的材料可以至少含有导电微粒、导电纤维、导电填充料中的一种。

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