高色散镜膜系的设计方法
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111123510A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN202010031830.6

    申请日:2020-01-13

    Abstract: 一种高色散镜膜系的设计方法,初始膜系结构为:S/(HL)^(m/2)C[(HL)^(m/4)C]^n(HL)^(2)/A,其中S表示基底,H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料,m为高反射膜层的周期数,n为谐振腔周期数,C为谐振腔,A代表空气。本发明通过将多个谐振腔嵌入在四分之一波长规整膜系的膜系中,使工作带宽内不同波长光分量在不同的腔内谐振与反射,极大的增加了整个膜系所引入的色散补偿能力。通过调整周期数m和n,可调控不同带宽内的色散和反射率,基于三腔式的初始结构和相应的膜系设计软件,我们设计得到多种高色散镜:-10,000fs2,-20,000fs2和-40,000fs2高色散镜。高色散镜在保持高反射率的同时提供极大的色散补偿量,并且具有精确色散补偿的优点,对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。

    弹性装夹装置
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106835058A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710000724.X

    申请日:2017-01-03

    CPC classification number: C23C14/50

    Abstract: 一种用于镀膜中固定基片的弹性装夹装置,构成包括基片夹具、多个弹性固定块、盖板和螺栓,通过弹性固定块对放置于基片夹具内的基片进行固定,通过螺栓使盖板固定于基片夹具上。基片加工过程中会产生一定的尺寸误差,在镀膜过程中基片尺寸误差偏小、振动或温度降低会造成固定松动,使所镀薄膜性能下降,同时也会由于基片尺寸误差偏大、振动以及温度升高导致基片固定时应力过大,甚至出现卡片、崩边等现象,同样影响薄膜的性能。本发明使基片在夹具内固定不动,可消除镀膜时基片因尺寸误差、振动及升温产生的应力。该装置具有结构简单、造价低廉、寿命长、通用性强和使用方便的特点。

    一种薄膜分束镜
    35.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221528998U

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202420149884.6

    申请日:2024-01-22

    Abstract: 本实用新型公开了一种薄膜分束镜。本实用新型的薄膜分束镜包括透射膜基底层和位于所述透射膜基底层上的反射膜,所述反射膜包括一个周期性X/Y层或多个层叠设置的周期性X/Y层,所述周期性X/Y层包括层叠设置的一层X层和一层Y层。与现有的薄膜分束镜相比,在相同的透射率下,本实用新型的薄膜分束镜中的透射膜基底层的厚度更大,因此具备更强的机械性能,更大尺寸的自支撑透射膜基底层使得本实用新型的薄膜分束镜可具备更大的通光口径。

    自支撑薄膜滤片的脱膜系统

    公开(公告)号:CN219114577U

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202320123604.X

    申请日:2023-01-13

    Abstract: 一种自支撑薄膜滤片的脱膜系统,包括固定装置、夹装装置和排液装置。固定装置采用安装环,夹装装置采用单面卡槽,排液装置采用带有细孔滤板的排液漏斗。立式脱膜平衡了脱膜过程中膜面两侧流体对薄膜的影响,使得液面下降过程中,膜面两侧所受外力始终保持动态对称从而实现平衡抵消,同时有效避免了液面张力变化产生的不利影响。夹装装置采用单面夹持卡槽和底部镂空的设计,使得滤片基底能够均匀溶解并迅速脱落。排液过程中,具备细密孔眼的滤板减缓了液流,以保护薄膜不受液流扰动的影响。相比于传统的漂浮法脱膜方式,本实用新型减少了人为操作,同时降低了溶液扰动,具有更好的可控性和抗干扰性,提升了自支撑薄膜滤片的制备成功率。

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