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公开(公告)号：CN113922546B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202111171609.1
申请日：2021-10-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种差分磁阻电机装置。该差分磁阻电机装置包括：磁阻驱动机构，磁阻驱动机构包括磁阻驱动机构定子和磁阻驱动机构动子；磁阻驱动机构定子包括定子铁芯、线圈和导磁件，线圈绕在定子铁芯上，导磁件与定子铁芯相互连接，磁阻驱动机构动子包括动子铁芯，定子铁芯至少部分包围动子铁芯；负刚度补偿机构，负刚度补偿机构包括柔性组件和磁弹簧组件，柔性组件和磁弹簧组件均与磁阻驱动机构动子连接，柔性组件和磁弹簧组件均用于对磁阻驱动机构动子的运动方向产生力的补偿。本发明实施例提供的差分磁阻电机装置，能够提高负刚度补偿的可靠性。
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公开(公告)号：CN114598181A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210187721.2
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明中公开了一种压电驱动多自由度球形关节；该装置以至少四个二维压电致动器作为动力提供机构，通过组合叠堆提供二维方向的力与位移/位置输出，预紧装置通过柔性机构提供所需的预紧力，该预紧力将为致动器提供充足的摩擦力以对球形运动关节提供执行推力。在外环支架与固定支撑装置的结构装配下，对球形关节转子进行致动，使输出轴能够在旋转运动下，提供高精度定位。本发明创新性的结合了压电致动技术与尺蠖式运动控制方法，并提供了一种新适应性结构，能够不依赖轴承，输出长行程大出力高精度位移。解决了普通机电球形关节无法满足的实际应用问题，符合现阶段超精密运动控制的需求。本发明对压电设备在旋转运动的新市场具有建设性意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114598123A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210183606.8
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁阻电机的主动磁浮减振装置。该装置至少包括一个运动模块；运动模块包括第一框架和第二框架，第一框架包括两个第一电磁体，第二框架包括第一部分和第二部分；第一部分包括两个第二电磁体；第二部分包括两个第三电磁体；两个第二电磁体的第二铁芯通过第一导磁体相连，两个第三电磁体的第三铁芯通过第二导磁体相连，第一框架位于第二框架的一部分和第二部分之间；第一铁芯、第二铁芯和第三铁芯、第一和第二导磁体，以及第一、第二框架间的气隙形成闭合的第一回路；减振装置还可由一个或多个偏置方式相同/不同的运动模块组合而成。本发明通过控制线圈中所通电流的大小可以实现对振动的主动控制。
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公开(公告)号：CN110524500A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910922776.1
申请日：2019-09-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台，包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上，下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动，X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动，上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动，Z向重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合以对X向导轨进行悬浮支撑，其中，X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明通过Z向重力补偿装置对X向导轨进行悬浮支撑，从而不仅能解决大载荷造成的能量消耗大，磁浮导轨动子结构不紧凑，质量过大的问题，又能实现大行程运动的功能。
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公开(公告)号：CN108279551A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201710007443.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式，由磁阻式电机提供高加速所需的大推力，由音圈电机提供高精度的定位能力，双重电机驱动模式的采用结合了两种电机的优点，同时规避了两种电机的缺点。在控制方案上，本发明公开了采用双通道双重电机的控制模式，前馈通道由开环控制的磁阻式电机组成，其大推力特性可以保证微动台高加/减速过程所需的大推力，磁阻式电机和功率放大器构成的电流环控制的带宽通常大于位置闭环控制的带宽，更加容易实现快速跟踪。而利用音圈电机作为反馈控制，可以进一步保证等速运动和定位时的精度。
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公开(公告)号：CN220040960U
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202320257902.8
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级、二级和三级运动台，同时包括底部、中部、旋转和顶部框架。一级运动台通过X向直线驱动模块与X向陶瓷块接触摩擦实现中部框架相对底部框架在X方向的移动；二级运动台通过Rx向旋转驱动模块和旋转陶瓷块接触摩擦实现旋转框架相对中部框架在Rx方向的弧形旋转；三级运动台通过Y向直线驱动模块与Y向陶瓷块接触摩擦实现顶部框架相对旋转框架在Y方向的移动，通过Z向直线驱动模块和Z向陶瓷块接触摩擦实现Z向运动滑块在Z方向的移动；本实用新型运动台结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强，致动器作为驱动使得在各运动轴上运动精度高、功耗低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN219697507U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202320269975.9
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种无轴承弧形压电电机；其包括尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子；弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45°倒角形成内倒角面以和内倒角面尺蠖压电驱动模组接触，内倒角面尺蠖压电驱动模组沿弧线在动子内倒角面同心弧度上±25°位置布置，外侧面、外弧面尺蠖压电驱动模组在动子外侧面0°、外弧面0°位置分别布置。预紧力作用下，尺蠖压电驱动模组为动子上接触面提供沿弧面法向夹持力，各尺蠖压电驱动模组法向夹持力在非运动自由度的分力推力平衡，为动子提供非运动自由度约束。通电状态下，动子在沿弧形运动方向受到内倒角面，外侧、弧面尺蠖压电驱动模组的切向驱动力。本实用新型电机具有结构简单，驱动导向一体化的优点。
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