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公开(公告)号：CN119483334A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411415237.6
申请日：2024-10-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁预载行走式压电致动器，包括：台架、运动部件、磁预载模块，运动部件为具有磁性的构件；磁预载模块包括分别设于运动部件的两侧的两个磁预载组件，磁预载组件相对台架沿第二方向活动设置，第二方向与第一方向垂直设置，磁预载组件包括至少一个磁力模组和至少一个压电模组，压电模组包括至少两个压电足，磁力模组被配置为与运动部件之间形成沿第二方向的磁吸力，以使至少两个压电足与运动部件接触，压电模组被配置为通过交替驱动至少两个压电足来带动运动部件沿第一方向运动。本发明通过磁力模组提供磁性的预载力的负刚度特性，令运动部件与压电模组实现自适应装配，并提高位移输出的精度。
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公开(公告)号：CN116633191A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310627545.4
申请日：2023-05-30
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开一种行走式压电致动位移装置及装配方法，其中，第二平台与第一平台之间可拆卸设有导轨，导轨沿第一方向延伸并沿与第一方向垂直的第二方向间隔至少设有两个；驱动组件位于两导轨之间且包括动子和能驱使动子沿第一方向移动的行走式压电电机，行走式压电电机与第一平台连接，动子沿第一方向延伸并可拆卸设在第二平台，每个导轨与动子之间设有对中块，对中块的相对两侧面垂直于第二方向；侧向压紧组件沿第二方向间隔至少设有两个，每个侧向压紧组件与第一平台活动连接，并与导轨抵接以使对中块的相对两侧面分别贴合于导轨和动子。本发明能保证行走式压电电机的出力方向、动子和导轨的运动方向一致，避免出现运动位移偏差的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119483336A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411415263.9
申请日：2024-10-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种宏微动行走式压电运动台及其安装方法。该宏微动行走式压电运动台包括基台和宏动运动平台。宏动运动平台与基台前后滑移连接，基台设有用于驱动宏动运动平台前后移动的行走式压电致动器。宏动运动平台设有微动台面。微动台面的左右两侧通过低刚度柔性铰链与宏动运动平台连接。微动台面的后侧设有高刚度柔性铰链和压电叠堆致动器。高刚度柔性铰链具有分别与所述微动台面和宏动运动平台连接的第一端和第二端。压电叠堆致动器的前后两端分别与微动台面和第二端抵接。本发明的安装方法通过调整螺孔对直线导轨、定位块和致动器动子的安装进行微调，从而使基台与宏动运动平台的滑移方向能够与行走式压电致动器的驱动方向一致。
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公开(公告)号：CN117728710A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311606228.0
申请日：2023-11-28
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明涉及自动控制技术领域，公开了一种基于行走式压电作动器的多自由度运动台解耦方法、解耦装置、多自由度运动台及存储介质，多自由度运动台由多个行走式压电作动器驱动，行走式压电作动器包括两组驱动足，每组驱动足包括切向压电陶瓷叠堆和垂向压电陶瓷叠堆；其方法包括：通过多自由度运动台各自由度逻辑轴上的反馈调节量和控制解耦矩阵确定多个行走式压电作动器步长反馈调节量；根据步长反馈调节量调整行走式压电作动器驱动足中的切向压电陶瓷叠堆的驱动波形，通过驱动波形对所述多自由度运动台进行多自由度耦合抑制。本发明可以抑制多自由度运动台的多自由度耦合，提高运动台在各个自由度的运动精度。
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公开(公告)号：CN117674635A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311596440.3
申请日：2023-11-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种行走式压电致动三轴耦合运动台，包括：基台，基台的中轴线沿第一方向延伸；驱动组件，驱动组件设有多组，多组驱动组件绕基台的中轴线圆周布置，每组驱动组件均包括行走式压电致动器和柔性铰链单元，行走式压电致动器设有致动器定子和致动器动子，致动器动子和致动器定子活动连接，并相对于致动器定子沿第一方向移动，致动器定子与基台连接，致动器动子与柔性铰链单元连接；姿态调整平台，姿态调整平台与柔性铰链单元连接。本发明利用压电驱动并联动柔性铰链单元的方式实现姿态调整平台的大行程、大角度的姿态调整，满足在真空、无磁、低热耗的工作环境下工作设备大行程、大角度的姿态调整需求。
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公开(公告)号：CN116107175A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310137050.3
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级运动台、二级运动台和三级运动台。其中一级运动台为x轴直线运动台，二级运动台为Rx旋转运动台，三级运动台为Y、Z直线运动台和Rz旋转运动台。本发明的运动台具有结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强的特点，布置合适致动器作为驱动使得在各运动轴上具有高运动精度和高鲁棒性，同时具有低功耗、无磁低热和高可靠性。
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公开(公告)号：CN220040960U
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202320257902.8
申请日：2023-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本实用新型公开了一种紧凑式多轴精密运动台；其自下而上包括一级、二级和三级运动台，同时包括底部、中部、旋转和顶部框架。一级运动台通过X向直线驱动模块与X向陶瓷块接触摩擦实现中部框架相对底部框架在X方向的移动；二级运动台通过Rx向旋转驱动模块和旋转陶瓷块接触摩擦实现旋转框架相对中部框架在Rx方向的弧形旋转；三级运动台通过Y向直线驱动模块与Y向陶瓷块接触摩擦实现顶部框架相对旋转框架在Y方向的移动，通过Z向直线驱动模块和Z向陶瓷块接触摩擦实现Z向运动滑块在Z方向的移动；本实用新型运动台结构紧凑、运动行程大、体积占用小、安装适应性强，致动器作为驱动使得在各运动轴上运动精度高、功耗低、可靠性高。
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