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公开(公告)号：CN114598119B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210154347.6
申请日：2022-02-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁阻式二维扫描运动装置。其包括第一运动框架和第二运动框架，两个运动框架均包括动子、定子、多个线圈和导向及负刚度补偿机构，其中定子包含多种导磁体，动子包含多个导磁体和若干磁钢，磁钢设在动子的两个导磁体之间，线圈绕在动子或定子的导磁体上，定子的导磁体分布在动子的导磁体两侧，同时定子和动子的导磁体之间存在气隙并形成闭合路径；工作时在磁钢形成的偏置磁场和线圈通入电流形成的变化磁场的共同作用下，两个运动框架分别产生沿相互垂直两个坐标正/负方向的运动。本发明的装置能够通过双向的磁阻力的控制以实现二维扫描运动，同时其采用导向及负刚度补偿机构，提高了装置的稳定性。
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公开(公告)号：CN112928891B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202110147074.8
申请日：2021-02-03
Applicant: 复旦大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H02K41/035
Abstract: 本发明公开一种六自由度磁浮台装置，包括支撑框架、移动框架和磁浮驱动机构，所述支撑框架包括第一支撑框架、第二支撑框架和第三支撑框架，所述磁浮驱动机构包括第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元，各驱动单元分别包括固定在所述支撑框架的定子和与定子配合的动子。还公开了一种磁浮台的控制方法。本发明通过分别设置的第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元，选择控制驱动单元的通电或控制驱动单元中线圈的驱动电流的方向、幅值和相位，可以实现移动框架的平动、转动，即提供六自由度的运动，相对于现有技术，具有结构简单、控制策略简单的优点。
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公开(公告)号：CN114598177A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210183585.X
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
IPC: H02M7/5387 , H02M1/32 , H02M1/38
Abstract: 本发明公开了一种实现并联环流抑制的高精度交流开关电源；其包括并联的多个桥式逆变模块、Delta‑Sigma控制模块，死区模块和同步模块；Delta‑Sigma控制模块输出的驱动逻辑被设置死区时间后，经同步模块后同步驱动并联桥式逆变电路中的对应开关管，将输入直流电压转换为方波，滤波后得到交流输出。本发明中，由于每个并联逆变模块桥臂中点电压采样合并后进入反馈使得压降未完全补偿，故环路电流能有效使得并联模块电压平衡，故并联模块间有着较大的环路阻抗可抑制环路电流，而Delta‑Sigma控制噪声整形特点对外可高精度误差抑制，故可实现抑制并联环流的高精度交流开关电源。
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公开(公告)号：CN112928887A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110146570.1
申请日：2021-02-03
Applicant: 复旦大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H02K41/02 , H02K11/215
Abstract: 本发明公开了一种位移装置，包括第一框架部和第二框架部，第一框架部包括第一线圈阵列至第四线圈阵列均配置在与第一方向平行的第一平面上，第五线圈阵列、第六线圈阵列配置在与第一方向平行的第二平面上，第七线圈阵列、第八线圈阵列配置在与第一方向平行的第三平面上；第二框架部包括多个磁体阵列，其中第一磁体阵列与第一线圈阵列、第二线圈阵列分别在第一平面上的投影有交集，第二磁体阵列与第三线圈阵列、第四线圈阵列分别在第一平面上的投影有交集，第三磁体阵列与第五线圈阵列、第六线圈阵列分别在第二平面上的投影有交集，第四磁体阵列与第七线圈阵列、第八线圈阵列分别在第三平面上的投影有交集，本装置实现了动子六个自由度的解耦控制。
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公开(公告)号：CN108279551B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201710007443.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式，由磁阻式电机提供高加速所需的大推力，由音圈电机提供高精度的定位能力，双重电机驱动模式的采用结合了两种电机的优点，同时规避了两种电机的缺点。在控制方案上，本发明公开了采用双通道双重电机的控制模式，前馈通道由开环控制的磁阻式电机组成，其大推力特性可以保证微动台高加/减速过程所需的大推力，磁阻式电机和功率放大器构成的电流环控制的带宽通常大于位置闭环控制的带宽，更加容易实现快速跟踪。而利用音圈电机作为反馈控制，可以进一步保证等速运动和定位时的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111536882A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010442531.1
申请日：2020-05-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种读数头和二维位移测量系统及测量方法。读数头包括第一偏振元件、第一光学元件、第一分光元件、第一信号接收元件、第二偏振元件、第二光学元件、第二分光元件以及第二信号接收元件。入射光经过第一分光元件后分成反射光和透射光。反射光的至少一部分经一维测量光栅衍射产生正一级衍射光和负一级衍射光，该正一级衍射光和负一级衍射光分别经过第一偏振元件和第二偏振元件后形成偏振态光后再次经过一维测量光栅衍射后在第二分光元件与该透射光在经过第二分光元件后产生的透射的第一偏振分量和反射的第二偏振分量发生干涉，并分别由第一信号接收元件和第二信号接收元件接收。本发明具有结构简单、装调容差较大以及易于工业场景实现的技术效果。
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公开(公告)号：CN110524499A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910922774.2
申请日：2019-09-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台，包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向主动重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上，下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动，X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动，上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动，Z向主动重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合，在上悬浮体沿X向导轨运动的过程中，Z向主动重力补偿装置动态地对X向导轨进行悬浮支撑，其中，X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明的磁浮导轨运动平台具有结构紧凑、运行过程中导轨受力均匀以及行程大的优点。
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公开(公告)号：CN115309006B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202210981688.0
申请日：2022-08-16
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20 , H02K7/20 , H02K41/035
Abstract: 本发明公开了一种混合驱动微动台，该微动台至少包含第一运动框架、第二运动框架和基座。第一运动框架包含第一动子和第一定子，第二运动框架包含第二动子和第二定子。第一动子通过多个第一柔性结构连接到第二动子上；第一定子固定在第二动子上；第二动子通过多个第二柔性结构连接到基座上；第二定子固定在基座上。第一、第二坐标轴相互垂直。在第一运动框架中，混合磁阻电机驱动第一动子沿第一坐标轴正/负方向进行高速、高加速、高精度的扫描运动；在第二运动框架中，两个音圈电机驱动第二动子沿第二坐标轴正/负方向运动。进而第一动子可以实现相对于基座的两自由度无摩擦运动。
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公开(公告)号：CN111900896B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202010955162.6
申请日：2020-09-11
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；第一导轨，沿第一直线电机的定子的长度方向延伸；第一气浮装置，与第一导轨之间形成气浮；第二导轨，沿第二直线电机的定子的长度方向延伸；第二气浮装置，与第二导轨之间形成气浮；第一磁浮组件，与第一导轨之间形成磁预载；第二磁浮组件，与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。
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