磁浮导轨运动平台
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110524499A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201910922774.2

    申请日:2019-09-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台,包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向主动重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上,下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动,X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动,上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动,Z向主动重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合,在上悬浮体沿X向导轨运动的过程中,Z向主动重力补偿装置动态地对X向导轨进行悬浮支撑,其中,X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明的磁浮导轨运动平台具有结构紧凑、运行过程中导轨受力均匀以及行程大的优点。

    气浮运动台
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111900896B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202010955162.6

    申请日:2020-09-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种气浮运动台。本发明中,气浮运动台包括:底座;第一直线电机,设置在底座上;第二直线电机,与第一直线电机相对间隔设置在底座上;运动装置,设置在第一直线电机和第二直线电机之间,连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子;第一导轨,沿第一直线电机的定子的长度方向延伸;第一气浮装置,与第一导轨之间形成气浮;第二导轨,沿第二直线电机的定子的长度方向延伸;第二气浮装置,与第二导轨之间形成气浮;第一磁浮组件,与第一导轨之间形成磁预载;第二磁浮组件,与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比,提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低,以及结构紧凑、可工程化实现的优势。

    磁浮导轨运动平台
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110524499B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN201910922774.2

    申请日:2019-09-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台,包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向主动重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上,下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动,X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动,上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动,Z向主动重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合,在上悬浮体沿X向导轨运动的过程中,Z向主动重力补偿装置动态地对X向导轨进行悬浮支撑,其中,X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明的磁浮导轨运动平台具有结构紧凑、运行过程中导轨受力均匀以及行程大的优点。

    磁浮导轨运动平台
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110524500A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201910922776.1

    申请日:2019-09-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台,包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上,下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动,X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动,上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动,Z向重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合以对X向导轨进行悬浮支撑,其中,X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明通过Z向重力补偿装置对X向导轨进行悬浮支撑,从而不仅能解决大载荷造成的能量消耗大,磁浮导轨动子结构不紧凑,质量过大的问题,又能实现大行程运动的功能。

    磁浮导轨运动平台
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110524500B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN201910922776.1

    申请日:2019-09-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台,包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上,下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动,X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动,上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动,Z向重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合以对X向导轨进行悬浮支撑,其中,X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明通过Z向重力补偿装置对X向导轨进行悬浮支撑,从而不仅能解决大载荷造成的能量消耗大,磁浮导轨动子结构不紧凑,质量过大的问题,又能实现大行程运动的功能。

    一种重力补偿器及承载装置

    公开(公告)号:CN113048185A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110257724.4

    申请日:2021-03-09

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于磁吸技术领域,公开了一种重力补偿器及承载装置。该重力补偿器包括:第一磁组件,第一磁组件包括磁基座和设置于磁基座上的第一磁体阵列,第一磁体阵列沿Z轴方向延伸;第二磁组件,第二磁组件包括磁框架和设置于磁框架上的第二磁体阵列,每个第二磁体阵列对应一个第一磁体阵列且相对设置并在两者之间形成间隙,间隙为锯齿形结构,第一磁体阵列和第二磁体阵列被配置为相互施加磁作用力,使第一磁组件和第二磁组件之间产生沿Z轴方向的力,以对用于承载负载的磁基座或磁框架进行重力补偿。该重力补偿器的间隙长度更长,在相同的高度下,间隙的间隙面积更大,以实现大行程、高负载的性能。

    一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置

    公开(公告)号:CN110749287B

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN201911180837.8

    申请日:2019-11-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置,其中,该方法包括以下步骤:将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上,四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面;将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜;将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置,用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光,通过PSD传感器测出反射光线的位置,计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息;获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息;根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰,测量精度更高,能满足长行程导轨的测量要求,并且价格相对较低。

    一种重力补偿器及承载装置

    公开(公告)号:CN113048185B

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202110257724.4

    申请日:2021-03-09

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于磁吸技术领域,公开了一种重力补偿器及承载装置。该重力补偿器包括:第一磁组件,第一磁组件包括磁基座和设置于磁基座上的第一磁体阵列,第一磁体阵列沿Z轴方向延伸;第二磁组件,第二磁组件包括磁框架和设置于磁框架上的第二磁体阵列,每个第二磁体阵列对应一个第一磁体阵列且相对设置并在两者之间形成间隙,间隙为锯齿形结构,第一磁体阵列和第二磁体阵列被配置为相互施加磁作用力,使第一磁组件和第二磁组件之间产生沿Z轴方向的力,以对用于承载负载的磁基座或磁框架进行重力补偿。该重力补偿器的间隙长度更长,在相同的高度下,间隙的间隙面积更大,以实现大行程、高负载的性能。

    气浮运动台
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111900896A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN202010955162.6

    申请日:2020-09-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明公开了一种气浮运动台。本发明中,气浮运动台包括:底座;第一直线电机,设置在底座上;第二直线电机,与第一直线电机相对间隔设置在底座上;运动装置,设置在第一直线电机和第二直线电机之间,连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子;第一导轨,沿第一直线电机的定子的长度方向延伸;第一气浮装置,与第一导轨之间形成气浮;第二导轨,沿第二直线电机的定子的长度方向延伸;第二气浮装置,与第二导轨之间形成气浮;第一磁浮组件,与第一导轨之间形成磁预载;第二磁浮组件,与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比,提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低,以及结构紧凑、可工程化实现的优势。

    一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置

    公开(公告)号:CN110749287A

    公开(公告)日:2020-02-04

    申请号:CN201911180837.8

    申请日:2019-11-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置,其中,该方法包括以下步骤:将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上,四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面;将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜;将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置,用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光,通过PSD传感器测出反射光线的位置,计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息;获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息;根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰,测量精度更高,能满足长行程导轨的测量要求,并且价格相对较低。

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