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公开(公告)号：CN107306098B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201610240775.5
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种用于磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法。磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。每对动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元。控制系统包括位置设定装置、间隙测量传感器以及控制电路。位置设定装置用于设定动子滑块单元相对于导轨单元悬浮的初始高度。间隙测量传感器用于测量动子滑块单元与导轨单元之间的悬浮间隙高度。控制电路与位置设定装置和间隙测量传感器通信连接，并用于根据位置设定装置和间隙测量传感器所得到的值，来获得动子滑块单元所需的期望电流。本申请的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调以及具有较高的动态响应能力。
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公开(公告)号：CN110224631A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910602811.1
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本发明可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。
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公开(公告)号：CN107306099A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201610240783.X
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
CPC classification number: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮导向装置及其控制方法。该磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。动子滑块单元包括铁芯和线圈绕组，线圈绕组缠绕于铁芯上。动子滑块单元进一步包括气隙调节装置，其中气隙调节装置设置于铁芯的预定位置处，且在预定位置，气隙调节装置中断由线圈绕组产生的磁力线的至少一部分。本发明的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调，以及具有较高的动态响应能力。
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公开(公告)号：CN108279551B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201710007443.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式，由磁阻式电机提供高加速所需的大推力，由音圈电机提供高精度的定位能力，双重电机驱动模式的采用结合了两种电机的优点，同时规避了两种电机的缺点。在控制方案上，本发明公开了采用双通道双重电机的控制模式，前馈通道由开环控制的磁阻式电机组成，其大推力特性可以保证微动台高加/减速过程所需的大推力，磁阻式电机和功率放大器构成的电流环控制的带宽通常大于位置闭环控制的带宽，更加容易实现快速跟踪。而利用音圈电机作为反馈控制，可以进一步保证等速运动和定位时的精度。
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公开(公告)号：CN110224631B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201910602811.1
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本发明可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107306099B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610240783.X
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮导向装置及其控制方法。该磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。动子滑块单元包括铁芯和线圈绕组，线圈绕组缠绕于铁芯上。动子滑块单元进一步包括气隙调节装置，其中气隙调节装置设置于铁芯的预定位置处，且在预定位置，气隙调节装置中断由线圈绕组产生的磁力线的至少一部分。本发明的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调，以及具有较高的动态响应能力。
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公开(公告)号：CN108279551A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201710007443.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式，由磁阻式电机提供高加速所需的大推力，由音圈电机提供高精度的定位能力，双重电机驱动模式的采用结合了两种电机的优点，同时规避了两种电机的缺点。在控制方案上，本发明公开了采用双通道双重电机的控制模式，前馈通道由开环控制的磁阻式电机组成，其大推力特性可以保证微动台高加/减速过程所需的大推力，磁阻式电机和功率放大器构成的电流环控制的带宽通常大于位置闭环控制的带宽，更加容易实现快速跟踪。而利用音圈电机作为反馈控制，可以进一步保证等速运动和定位时的精度。
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公开(公告)号：CN107306098A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201610240775.5
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种用于磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法。磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。每对动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元。控制系统包括位置设定装置、间隙测量传感器以及控制电路。位置设定装置用于设定动子滑块单元相对于导轨单元悬浮的初始高度。间隙测量传感器用于测量动子滑块单元与导轨单元之间的悬浮间隙高度。控制电路与位置设定装置和间隙测量传感器通信连接，并用于根据位置设定装置和间隙测量传感器所得到的值，来获得动子滑块单元所需的期望电流。本申请的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调以及具有较高的动态响应能力。
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公开(公告)号：CN110207598A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910602684.5
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种压电陶瓷d15参数测量装置及方法。该装置包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座。安装基座固定安装于安装架上，位移台可活动地安装于安装架上，光栅尺固定安装于位移台上，读数头固定安装于光栅尺的下方，待测量的压电陶瓷叠堆安装于安装基座与位移台之间，向压电陶瓷叠堆施加电压，压电陶瓷叠堆发生位移变化，使得位移台带动光栅尺发生同步运动，光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值，将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本发明的可以直接测量压电陶瓷的横向压电常数d15，同时可以达到纳米级的测量精度。
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公开(公告)号：CN210273871U
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201921048826.X
申请日：2019-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本实用新型公开了一种压电陶瓷电机动子装配工装，用于将压电陶瓷电机的动子装配到压电陶瓷电机的定子，包括上支撑板、下支撑板以及压电陶瓷叠堆。所述压电陶瓷叠堆由多个表面覆盖有电极层的压电陶瓷片堆叠形成，并设置于上支撑板和下支撑板之间，在通电时压电陶瓷叠堆沿着支撑板法线方向运动以增大上支撑板和下支撑板之间的距离，从而将压电陶瓷电机定子组件精确扩张开，从而便于放入压电陶瓷电机动子。本实用新型可以解决压电陶瓷电机动子装配困难的问题，装配精度可以达到微米量级，在不对压电陶瓷电机定子进行破坏的条件下，实现压电陶瓷电机定子的精确安装，同时操作方便，易于控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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