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公开(公告)号：CN111900896B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202010955162.6
申请日：2020-09-11
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；第一导轨，沿第一直线电机的定子的长度方向延伸；第一气浮装置，与第一导轨之间形成气浮；第二导轨，沿第二直线电机的定子的长度方向延伸；第二气浮装置，与第二导轨之间形成气浮；第一磁浮组件，与第一导轨之间形成磁预载；第二磁浮组件，与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。
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公开(公告)号：CN112880953B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202110083867.8
申请日：2021-01-21
Applicant: 复旦大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: G01M7/06
Abstract: 本发明公开了一种振动试验装置，包括：主支撑框架、载台组件、重力补偿组件和载台驱动组件，载台驱动组件包括提供垂向驱动力的第一驱动组件和提供水平向驱动力的第二驱动组件，重力补偿组件一端固定，另一端与载台组件连接，用于为载台组件提供支撑力。还提供了一种振动测试的方法。本发明的振动试验装置，通过第一驱动组件和第二驱动组件的驱动作用，可以使载台组件实现水平振动和垂向振动，可以提供六自由度的测试工况；并且，通过设置的重力补偿组件承受主要的负载重量，减小第一驱动组件的静负载，从而提高驱动电机的利用效率，因此，相对于现有技术，该试验装置能够承受更大的负载。
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公开(公告)号：CN110524499B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN201910922774.2
申请日：2019-09-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台，包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向主动重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上，下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动，X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动，上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动，Z向主动重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合，在上悬浮体沿X向导轨运动的过程中，Z向主动重力补偿装置动态地对X向导轨进行悬浮支撑，其中，X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明的磁浮导轨运动平台具有结构紧凑、运行过程中导轨受力均匀以及行程大的优点。
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公开(公告)号：CN110524500A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910922776.1
申请日：2019-09-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台，包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上，下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动，X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动，上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动，Z向重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合以对X向导轨进行悬浮支撑，其中，X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明通过Z向重力补偿装置对X向导轨进行悬浮支撑，从而不仅能解决大载荷造成的能量消耗大，磁浮导轨动子结构不紧凑，质量过大的问题，又能实现大行程运动的功能。
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公开(公告)号：CN107306099B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610240783.X
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮导向装置及其控制方法。该磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。动子滑块单元包括铁芯和线圈绕组，线圈绕组缠绕于铁芯上。动子滑块单元进一步包括气隙调节装置，其中气隙调节装置设置于铁芯的预定位置处，且在预定位置，气隙调节装置中断由线圈绕组产生的磁力线的至少一部分。本发明的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调，以及具有较高的动态响应能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108279551A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201710007443.7
申请日：2017-01-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻机运动平台及其微运动平台和控制方法。微运动平台在结构上采用由对称分布的磁阻式电机和高精度的音圈电机相结合的方式，由磁阻式电机提供高加速所需的大推力，由音圈电机提供高精度的定位能力，双重电机驱动模式的采用结合了两种电机的优点，同时规避了两种电机的缺点。在控制方案上，本发明公开了采用双通道双重电机的控制模式，前馈通道由开环控制的磁阻式电机组成，其大推力特性可以保证微动台高加/减速过程所需的大推力，磁阻式电机和功率放大器构成的电流环控制的带宽通常大于位置闭环控制的带宽，更加容易实现快速跟踪。而利用音圈电机作为反馈控制，可以进一步保证等速运动和定位时的精度。
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公开(公告)号：CN107306098A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201610240775.5
申请日：2016-04-18
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种用于磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法。磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元，动子滑块单元成对地布置于导轨单元的两侧。每对动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元。控制系统包括位置设定装置、间隙测量传感器以及控制电路。位置设定装置用于设定动子滑块单元相对于导轨单元悬浮的初始高度。间隙测量传感器用于测量动子滑块单元与导轨单元之间的悬浮间隙高度。控制电路与位置设定装置和间隙测量传感器通信连接，并用于根据位置设定装置和间隙测量传感器所得到的值，来获得动子滑块单元所需的期望电流。本申请的磁悬浮导向装置具有更大的预载力，预载力可调以及具有较高的动态响应能力。
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公开(公告)号：CN112436711B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202011261343.5
申请日：2020-11-12
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种位移装置，包括至少一个第一框架部和至少一个第二框架部，每个第一框架部和对应的第二框架部可以产生相对运动，第一框架部包括第一框架和多个线圈阵列，多个线圈阵列配置在第一框架的多个平面上，每个线圈阵列包括多个线圈，多个线圈沿第一方向两两相邻配置，第二框架部包括第二框架和多个磁体阵列，多个磁体阵列配置在第二框架的多个平面上，每个磁体阵列包含多个磁体，多个磁体中至少两个磁体具有相互不同的磁化方向，每一磁体沿第一方向交替排列，本位移装置实现各框架之间的相对运动，可根据各种需求实现不同距离位移，框架间无直接机械式接触，也方便于装备和维护操作，对于规模化的使用，能有效降低制造和使用成本。
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公开(公告)号：CN111900896A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202010955162.6
申请日：2020-09-11
Applicant: 复旦大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种气浮运动台。本发明中，气浮运动台包括：底座；第一直线电机，设置在底座上；第二直线电机，与第一直线电机相对间隔设置在底座上；运动装置，设置在第一直线电机和第二直线电机之间，连接第一直线电机的动子和第二直线电机的动子；第一导轨，沿第一直线电机的定子的长度方向延伸；第一气浮装置，与第一导轨之间形成气浮；第二导轨，沿第二直线电机的定子的长度方向延伸；第二气浮装置，与第二导轨之间形成气浮；第一磁浮组件，与第一导轨之间形成磁预载；第二磁浮组件，与第二导轨之间形成磁预载。与现有技术相比，提高了气浮刚度、动态性能佳、对装调要求相对低，以及结构紧凑、可工程化实现的优势。
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公开(公告)号：CN110749287A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911180837.8
申请日：2019-11-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置，其中，该方法包括以下步骤：将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上，四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面；将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜；将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置，用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光，通过PSD传感器测出反射光线的位置，计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息；获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息；根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰，测量精度更高，能满足长行程导轨的测量要求，并且价格相对较低。
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