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公开(公告)号：CN115309006B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202210981688.0
申请日：2022-08-16
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20 , H02K7/20 , H02K41/035
Abstract: 本发明公开了一种混合驱动微动台，该微动台至少包含第一运动框架、第二运动框架和基座。第一运动框架包含第一动子和第一定子，第二运动框架包含第二动子和第二定子。第一动子通过多个第一柔性结构连接到第二动子上；第一定子固定在第二动子上；第二动子通过多个第二柔性结构连接到基座上；第二定子固定在基座上。第一、第二坐标轴相互垂直。在第一运动框架中，混合磁阻电机驱动第一动子沿第一坐标轴正/负方向进行高速、高加速、高精度的扫描运动；在第二运动框架中，两个音圈电机驱动第二动子沿第二坐标轴正/负方向运动。进而第一动子可以实现相对于基座的两自由度无摩擦运动。
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公开(公告)号：CN114598119A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210154347.6
申请日：2022-02-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁阻式二维扫描运动装置。其包括第一运动框架和第二运动框架，两个运动框架均包括动子、定子、多个线圈和导向及负刚度补偿机构，其中定子包含多种导磁体，动子包含多个导磁体和若干磁钢，磁钢设在动子的两个导磁体之间，线圈绕在动子或定子的导磁体上，定子的导磁体分布在动子的导磁体两侧，同时定子和动子的导磁体之间存在气隙并形成闭合路径；工作时在磁钢形成的偏置磁场和线圈通入电流形成的变化磁场的共同作用下，两个运动框架分别产生沿相互垂直两个坐标正/负方向的运动。本发明的装置能够通过双向的磁阻力的控制以实现二维扫描运动，同时其采用导向及负刚度补偿机构，提高了装置的稳定性。
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公开(公告)号：CN110524500B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN201910922776.1
申请日：2019-09-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁浮导轨运动平台，包括底座、Y向导轨、下悬浮体、X向导轨、上悬浮体以及Z向重力补偿装置。Y向导轨安装于底座上，下悬浮体安装于Y向导轨上并能够沿Y向导轨进行悬浮运动，X向导轨与下悬浮体固定连接以与下悬浮体沿Y向导轨进行悬浮运动，上悬浮体安装于X向导轨上并能够沿X向导轨进行悬浮运动，Z向重力补偿装置安装于底座上并与X向导轨配合以对X向导轨进行悬浮支撑，其中，X向导轨和Y向导轨相互垂直。本发明通过Z向重力补偿装置对X向导轨进行悬浮支撑，从而不仅能解决大载荷造成的能量消耗大，磁浮导轨动子结构不紧凑，质量过大的问题，又能实现大行程运动的功能。
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公开(公告)号：CN113922546A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111171609.1
申请日：2021-10-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种差分磁阻电机装置。该差分磁阻电机装置包括：磁阻驱动机构，磁阻驱动机构包括磁阻驱动机构定子和磁阻驱动机构动子；磁阻驱动机构定子包括定子铁芯、线圈和导磁件，线圈绕在定子铁芯上，导磁件与定子铁芯相互连接，磁阻驱动机构动子包括动子铁芯，定子铁芯至少部分包围动子铁芯；负刚度补偿机构，负刚度补偿机构包括柔性组件和磁弹簧组件，柔性组件和磁弹簧组件均与磁阻驱动机构动子连接，柔性组件和磁弹簧组件均用于对磁阻驱动机构动子的运动方向产生力的补偿。本发明实施例提供的差分磁阻电机装置，能够提高负刚度补偿的可靠性。
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公开(公告)号：CN110749287B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911180837.8
申请日：2019-11-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置，其中，该方法包括以下步骤：将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上，四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面；将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜；将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置，用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光，通过PSD传感器测出反射光线的位置，计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息；获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息；根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰，测量精度更高，能满足长行程导轨的测量要求，并且价格相对较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115309006A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210981688.0
申请日：2022-08-16
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20 , H02K7/20 , H02K41/035
Abstract: 本发明公开了一种混合驱动微动台，该微动台至少包含第一运动框架、第二运动框架和基座。第一运动框架包含第一动子和第一定子，第二运动框架包含第二动子和第二定子。第一动子通过多个第一柔性结构连接到第二动子上；第一定子固定在第二动子上；第二动子通过多个第二柔性结构连接到基座上；第二定子固定在基座上。第一、第二坐标轴相互垂直。在第一运动框架中，混合磁阻电机驱动第一动子沿第一坐标轴正/负方向进行高速、高加速、高精度的扫描运动；在第二运动框架中，两个音圈电机驱动第二动子沿第二坐标轴正/负方向运动。进而第一动子可以实现相对于基座的两自由度无摩擦运动。
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公开(公告)号：CN110749287A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911180837.8
申请日：2019-11-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置，其中，该方法包括以下步骤：将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上，四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面；将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜；将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置，用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光，通过PSD传感器测出反射光线的位置，计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息；获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息；根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰，测量精度更高，能满足长行程导轨的测量要求，并且价格相对较低。
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公开(公告)号：CN114598123B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202210183606.8
申请日：2022-02-28
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁阻电机的主动磁浮减振装置。该装置至少包括一个运动模块；运动模块包括第一框架和第二框架，第一框架包括两个第一电磁体，第二框架包括第一部分和第二部分；第一部分包括两个第二电磁体；第二部分包括两个第三电磁体；两个第二电磁体的第二铁芯通过第一导磁体相连，两个第三电磁体的第三铁芯通过第二导磁体相连，第一框架位于第二框架的一部分和第二部分之间；第一铁芯、第二铁芯和第三铁芯、第一和第二导磁体，以及第一、第二框架间的气隙形成闭合的第一回路；减振装置还可由一个或多个偏置方式相同/不同的运动模块组合而成。本发明通过控制线圈中所通电流的大小可以实现对振动的主动控制。
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公开(公告)号：CN114598119B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210154347.6
申请日：2022-02-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种磁阻式二维扫描运动装置。其包括第一运动框架和第二运动框架，两个运动框架均包括动子、定子、多个线圈和导向及负刚度补偿机构，其中定子包含多种导磁体，动子包含多个导磁体和若干磁钢，磁钢设在动子的两个导磁体之间，线圈绕在动子或定子的导磁体上，定子的导磁体分布在动子的导磁体两侧，同时定子和动子的导磁体之间存在气隙并形成闭合路径；工作时在磁钢形成的偏置磁场和线圈通入电流形成的变化磁场的共同作用下，两个运动框架分别产生沿相互垂直两个坐标正/负方向的运动。本发明的装置能够通过双向的磁阻力的控制以实现二维扫描运动，同时其采用导向及负刚度补偿机构，提高了装置的稳定性。
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公开(公告)号：CN112928887A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110146570.1
申请日：2021-02-03
Applicant: 复旦大学 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H02K41/02 , H02K11/215
Abstract: 本发明公开了一种位移装置，包括第一框架部和第二框架部，第一框架部包括第一线圈阵列至第四线圈阵列均配置在与第一方向平行的第一平面上，第五线圈阵列、第六线圈阵列配置在与第一方向平行的第二平面上，第七线圈阵列、第八线圈阵列配置在与第一方向平行的第三平面上；第二框架部包括多个磁体阵列，其中第一磁体阵列与第一线圈阵列、第二线圈阵列分别在第一平面上的投影有交集，第二磁体阵列与第三线圈阵列、第四线圈阵列分别在第一平面上的投影有交集，第三磁体阵列与第五线圈阵列、第六线圈阵列分别在第二平面上的投影有交集，第四磁体阵列与第七线圈阵列、第八线圈阵列分别在第三平面上的投影有交集，本装置实现了动子六个自由度的解耦控制。
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