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公开(公告)号：CN114100387A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110953636.8
申请日：2021-08-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 志水彻
Abstract: 本发明提供一种提高原料气化系统的浓度控制的响应性且用于原料气化系统(100)的浓度控制模块(6)，其具备：浓度检测部(61)，其检测原料气体的浓度；阀(62)，其设置在将原料气体从罐(2)导出的导出管(4)；压力目标值计算部(63a)，其使用原料气体的浓度目标值和浓度检测部的浓度检测值来计算罐(2)内的压力目标值；延迟滤波器(63b)，其对通过压力目标值计算部(63a)得到的压力目标值提供预定的时间延迟而生成压力控制值；以及第一阀控制部(63c)，其使用通过延迟滤波器(63b)得到的压力控制值与罐(2)内的压力之间的偏差来对阀(62)进行反馈控制。
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公开(公告)号：CN109519706B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201811093056.0
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。
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公开(公告)号：CN113513613A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110360803.8
申请日：2021-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
Abstract: 本发明提供流体控制装置，包括：块件，沿着长边方向以预定宽度延伸；内部流道，形成在所述块件内，沿着所述长边方向延伸；第一控制阀，安装于所述块件；以及第二控制阀，在所述块件中安装于比所述第一控制阀更靠下游侧，所述内部流道包括：合流后流道，使经过了所述第一控制阀和所述第二控制阀的流体合流并流动；第一流出流道，连接在使流体从所述第一控制阀流出的第一流出口与所述合流后流道之间；第二流出流道，连接在使流体从所述第二控制阀流出的第二流出口与所述合流后流道之间；以及第二流入流道，与使流体流入所述第二控制阀的第二流入口连接，在沿着宽度方向透视所述块件的情况下，所述第一流出流道与所述第二流入流道配置成重叠在一点。
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公开(公告)号：CN113217818A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110083651.1
申请日：2021-01-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 爱德华·科西亚迪弗罗 , 约翰·迪克 , 威廉姆·W·怀特 , 马克西米利安·冈德拉赫 , 帕特里克·劳瑞
Abstract: 本公开提供了一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵/清除系统，以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此，能够评估与流动过程相关联的列，从而在必要时能够换出质量流量控制器。
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公开(公告)号：CN109715851B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201780048644.X
申请日：2017-07-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/205
Abstract: 在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐(10)内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐(10)导出，其包括：流量控制部(71)，利用对导入所述槽罐(10)的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐(10)导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部(72)，检测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法利用该流量控制部(71)对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112054716A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010381335.8
申请日：2020-05-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，能抑制从压电致动器放出电荷并收缩时的发热量并能降低驱动压电致动器所需要的能量，流体控制阀(3)具备压电致动器(31)以及与所述压电致动器(31)连接的驱动电路(32)，所述驱动电路(32)具备：回扫变压器(5)，具备与直流电源(DV)连接的一次侧线圈(51)及与所述压电致动器(31)连接的二次侧线圈(52)；充电开关(61)，与所述一次侧线圈(51)连接，当所述压电致动器(31)充电时从ON切换为OFF；放电开关(62)，与所述二次侧线圈(52)连接，当所述压电致动器(31)放电时从OFF切换为ON；再生用电容(71)，与所述一次侧线圈(51)连接，利用所述压电致动器(31)的放电对电能进行再生。
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公开(公告)号：CN111623855A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010116156.1
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
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公开(公告)号：CN105716225B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和汽化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN106931221B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201610874019.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制阀及其控制方法，用于消除用户的误解，改善使用便利性，所述流体控制阀包括：阀座(31)；阀体(32)，以相对于阀座(31)能够接近或远离的方式设置；驱动器(33)，使阀体(32)在接近或远离的方向上移动；位置信息检测部(7)，检测与阀体(32)相对于阀座(31)的相对位置对应的值；以及位置输出部(42)，与在阀体(32)的开始打开的位置通过位置信息检测部(7)得到的位置信息无关地将所述开始打开的位置作为零位置。
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公开(公告)号：CN105320160B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201510336629.8
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供中继器以及流体控制和测量系统。为了能使流体设备小型化并能诊断流体设备的动作状态，中继器具备：第一端口，与流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过第一端口从流体设备接收流体关联数据并通过第二端口向用户用信息处理装置发送，或通过第二端口从用户用信息处理装置接收流体关联数据并通过第一端口向流体设备发送，中继器还具备与诊断流体设备的动作状态的诊断用装置连接的第三端口，通过第一端口从流体设备接收诊断动作状态的诊断用数据并通过第三端口向诊断用装置发送。
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