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公开(公告)号：CN116066737A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211252811.1
申请日：2022-10-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统和流体控制方法。流体控制装置包括：主体，在内部形成有流道；流体控制阀，安装于所述主体，控制流过所述流道的流体；以及外壳，以收容所述流体控制阀的方式安装于所述主体，在所述外壳中的作为朝向与所述主体相反侧的面的顶面，形成有朝向所述主体倾斜的倾斜面。
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公开(公告)号：CN106931221B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201610874019.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制阀及其控制方法，用于消除用户的误解，改善使用便利性，所述流体控制阀包括：阀座(31)；阀体(32)，以相对于阀座(31)能够接近或远离的方式设置；驱动器(33)，使阀体(32)在接近或远离的方向上移动；位置信息检测部(7)，检测与阀体(32)相对于阀座(31)的相对位置对应的值；以及位置输出部(42)，与在阀体(32)的开始打开的位置通过位置信息检测部(7)得到的位置信息无关地将所述开始打开的位置作为零位置。
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公开(公告)号：CN106931221A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610874019.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制阀及其控制方法，用于消除用户的误解，改善使用便利性，所述流体控制阀包括：阀座(31)；阀体(32)，以相对于阀座(31)能够接近或远离的方式设置；驱动器(33)，使阀体(32)在接近或远离的方向上移动；位置信息检测部(7)，检测与阀体(32)相对于阀座(31)的相对位置对应的值；以及位置输出部(42)，与在阀体(32)的开始打开的位置通过位置信息检测部(7)得到的位置信息无关地将所述开始打开的位置作为零位置。
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