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公开(公告)号：CN113217818A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110083651.1
申请日：2021-01-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 爱德华·科西亚迪弗罗 , 约翰·迪克 , 威廉姆·W·怀特 , 马克西米利安·冈德拉赫 , 帕特里克·劳瑞
Abstract: 本公开提供了一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵/清除系统，以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此，能够评估与流动过程相关联的列，从而在必要时能够换出质量流量控制器。
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