公开(公告)号：CN113217818A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110083651.1

申请日：2021-01-21

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 爱德华·科西亚迪弗罗 ,  约翰·迪克 ,  威廉姆·W·怀特 ,  马克西米利安·冈德拉赫 ,  帕特里克·劳瑞

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/01

Abstract: 本公开提供了一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵/清除系统，以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此，能够评估与流动过程相关联的列，从而在必要时能够换出质量流量控制器。

公开(公告)号：CN113836782A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202110625782.8

申请日：2021-06-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 爱德华·科西亚迪弗罗

IPC: G06F30/27 ,  G06K9/62 ,  G01D21/02 ,  G06F113/08 ,  G06F119/08

Abstract: 本发明提供了一种计算系统、一种计算方法和一种气体输送装置，所述计算系统包括：处理器和存储可执行指令的非易失性存储器，该指令响应于处理器的执行而使处理器：接收包括监测的气体输送过程的传感器信息和/或阀位置信息的监测的气体输送过程数据；接收包括最佳气体输送过程的传感器信息和/或阀位置信息的最佳气体输送过程数据；以及执行包括至少一个人工智能模型的判别式分类器，判别式分类器被配置成：提取监测的气体输送过程数据的特征；提取最佳气体输送过程数据的特征；基于监测的气体输送过程数据的提取特征和最佳气体输送过程数据的提取特征来计算监测的气体输送过程的相似性值；以及输出相似性值。