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公开(公告)号：CN109715851B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201780048644.X
申请日：2017-07-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/205
Abstract: 在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐(10)内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐(10)导出，其包括：流量控制部(71)，利用对导入所述槽罐(10)的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐(10)导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部(72)，检测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法利用该流量控制部(71)对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109690292A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780056159.7
申请日：2017-09-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 得到一种吸光光度计，该吸光光度计在检测高温的样品气体的情况下，即使不延长从光源部至光接收部为止的距离，也能够保护光源部和/或光接收部免受样品气体的热的侵害，能够保持高检测精度。其具备：具有容纳样品气体的容纳空间(11)的样品容纳部(10)、将光照射到容纳空间(11)内的光源部(20)、接收从容纳空间(11)内射出的光的光接收部(30)、与样品容纳部(10)的光源部(20)侧邻接而设置的第一隔热部(40a)和与样品容纳部(10)的光接收部(30)侧邻接而设置的第二隔热部(40b)、以及与第一隔热部(40a)邻接而设置的第一冷却部(50a)和与第二隔热部(40b)邻接而设置的第二冷却部(50b)。
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公开(公告)号：CN109715851A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780048644.X
申请日：2017-07-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/52 , C23C16/448 , G05D7/0635 , H01L21/205 , H01L21/67253
Abstract: 在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐(10)内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐(10)导出，其包括：流量控制部(71)，利用对导入所述槽罐(10)的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐(10)导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部(72)，检测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法利用该流量控制部(71)对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。
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公开(公告)号：CN109207963B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201810715000.8
申请日：2018-07-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 西里洋
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , F16K31/02 , F16K37/00 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质。流体控制装置能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度，控制机构包括：脉冲信号发生器，向第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
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公开(公告)号：CN109207963A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810715000.8
申请日：2018-07-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 西里洋
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , F16K31/02 , F16K37/00 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质。流体控制装置能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度，控制机构包括：脉冲信号发生器，向第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
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公开(公告)号：CN106996513A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201610892358.9
申请日：2016-10-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: C23C16/52 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , G01N21/3504 , G01N21/84 , G01N33/0004 , G01N2021/8411 , G01N2021/8578 , G05D11/00 , G05D21/02 , Y10T137/0329 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , F17D1/02 , F17D3/01 , F17D3/18
Abstract: 本发明提供一种气体控制系统，其可以防止出现由材料气体再液化的液滴或材料的热分解所产生的微粒对浓度或流量控制的影响，以预先设定的浓度或流量供给混合气体。该气体控制系统包括：第一阀，其设置在所述载气管线上或设置在所述供气管线上；流量控制机构，其设于稀释气体管线上，具有流量传感器及第二阀；非接触式的第一浓度传感器；第一阀控制部；稀释气体设定流量计算部，其基于预先设定的所述稀释后混合气体的总设定流量以及所述稀释后测定浓度，计算应该在所述稀释气体管线中流动的稀释气体的流量即稀释气体设定流量；第二阀控制部，其为使所述稀释气体设定流量与所述流量传感器所测定的测定流量的偏差减小而控制所述第二阀的开度。
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