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公开(公告)号：CN101762299A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
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公开(公告)号：CN113391652B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202110264283.0
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质。即使是PVTt法，与以往相比也能缩短流量诊断所需的时间，且能实现容器的小型化、大流量下的诊断。流量诊断装置包括：主线路，设置有具有预定容量的容器；分支线路，在所述主线路中从所述容器的上游侧分支；第一开闭阀，设置在所述分支线路上；第二开闭阀，设置在所述主线路上；死区容积，是将诊断对象规定为上游端、将所述第一开闭阀和所述第二开闭阀规定为下游端的容积；以及第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式中，控制流过所述主线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113391652A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110264283.0
申请日：2021-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质。即使是PVTt法，与以往相比也能缩短流量诊断所需的时间，且能实现容器的小型化、大流量下的诊断。流量诊断装置包括：主线路，设置有具有预定容量的容器；分支线路，在所述主线路中从所述容器的上游侧分支；第一开闭阀，设置在所述分支线路上；第二开闭阀，设置在所述主线路上；死区容积，是将诊断对象规定为上游端、将所述第一开闭阀和所述第二开闭阀规定为下游端的容积；以及第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式中，控制流过所述主线路的流体，以将所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定压力。
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公开(公告)号：CN119309635A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202410926702.6
申请日：2024-07-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 堀之内修
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明提供流量计算装置和流量计算方法。流量计算装置包括：特定流道和旁通流道，设置成从主流道分路，分流流体；第一流阻元件，设置于特定流道；第二流阻元件，设置于旁通流道；容器，在特定流道中配置于第一流阻元件的下游侧；压力传感器，检测容器内的压力；以及流量计算部。流量计算部基于容器内的所述压力的变化计算分流到特定流道的第一分路流体的流量，并基于第一分路流体的计算流量、以及根据第一流阻元件和第二流阻元件而决定的分流比，计算在主流道中流动的流体的流量。
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公开(公告)号：CN111623855A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010116156.1
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
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公开(公告)号：CN111623855B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202010116156.1
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/10
Abstract: 本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
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公开(公告)号：CN101762299B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
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