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公开(公告)号：CN101839737B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201010135177.4
申请日：2010-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F25/0007 , G05D7/0635 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供一种优异的质量流量计等，无需特别的工时也能够灵活应对气体类型等试样流体的变更，并且可精度良好地测定流量。所述质量流量计包括：传感器部(2)，对流路(1)中流动的试样流体G的流量进行侦测；设定部(4c)，设定所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α，流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部(2)的输出值确定流量的流量特性函数，且仪器误差修正参数α是独立于流量特性函数且为多个试样流体所共用的参数，用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正；以及流量计算部(4d)，根据流量特性函数K和仪器误差修正参数α，来计算出试样流体G的流量。
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公开(公告)号：CN111623855A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010116156.1
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
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公开(公告)号：CN108227765B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN201711341107.2
申请日：2017-12-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 矶部泰弘
Abstract: 本发明提供流体特性测量系统、存储有流体特性测量系统用程序的程序存储介质和流体特性测量方法，其能够容易地求出作为流体的特性的压缩系数，大幅度提高了基于ROR系统等的流量测量精度。流体特性测量系统包括：具有固定容量的容器(1)；流量控制器(2)，连接成能够以固定流量向该容器(1)导入流体；以及信息处理装置(5)，在所述容器(1)内的压力不同的两种状况下，基于由所述流量控制器(2)以相互相同的流量向该容器(1)导入流体时的该容器(1)内压力的各时间变化，计算与该流体的压力对应的压缩系数。
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公开(公告)号：CN102576231B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201080047852.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7784
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
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公开(公告)号：CN101762299A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108227765A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711341107.2
申请日：2017-12-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 矶部泰弘
CPC classification number: G01N7/00 , G01F1/34 , G01F1/56 , G01F1/76 , G01F25/00 , G01N1/10 , G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流体特性测量系统、存储有流体特性测量系统用程序的程序存储介质和流体特性测量方法，其能够容易地求出作为流体的特性的压缩系数，大幅度提高了基于ROR系统等的流量测量精度。流体特性测量系统包括：具有固定容量的容器(1)；流量控制器(2)，连接成能够以固定流量向该容器(1)导入流体；以及信息处理装置(5)，在所述容器(1)内的压力不同的两种状况下，基于由所述流量控制器(2)以相互相同的流量向该容器(1)导入流体时的该容器(1)内压力的各时间变化，计算与该流体的压力对应的压缩系数。
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公开(公告)号：CN101839737A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010135177.4
申请日：2010-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F25/0007 , G05D7/0635 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供一种优异的质量流量计等，无需特别的工时也能够灵活应对气体类型等试样流体的变更，并且可精度良好地测定流量。所述质量流量计包括：传感器部(2)，对流路(1)中流动的试样流体G的流量进行侦测；设定部(4c)，设定所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α，流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部(2)的输出值确定流量的流量特性函数，且仪器误差修正参数α是独立于流量特性函数且为多个试样流体所共用的参数，用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正；以及流量计算部(4d)，根据流量特性函数K和仪器误差修正参数α，来计算出试样流体G的流量。
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公开(公告)号：CN111623855B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202010116156.1
申请日：2020-02-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/10
Abstract: 本发明提供流量计算系统、存储介质、流量计算方法及流量计算装置，流量计算系统具备：流体流入的容器；使流体流入容器的流入管路；检测容器内的压力的压力传感器，其还具备：压力变化数据存储部，在从由流入管路开始向容器流入流体开始到停止向容器流入流体为止的流入期间中，存储表示由压力传感器检测到的压力的时间变化的压力变化数据；流量计算部，基于根据压力变化数据计算出的压力的变化率，计算被推定为在流入期间中流过流入管路的流体的推定流量；流量修正部，基于在停止向容器流入流体开始经过了规定时间后由压力传感器检测到的第一压力以及压力变化数据中包含的比第一压力高的第二压力，对由流量计算部计算出的推定流量进行修正。
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公开(公告)号：CN101762299B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN200910262030.9
申请日：2009-12-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/00 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的课题在于使质量流量计的测量精度提高。一种质量流量计包括：流量计算部42，获取来自传感器部411、412的输出信号并计算出样品气体G的流量Qraw，所述传感器部411、412具有设置在所述样品气体G所流经的流路2中的热敏电阻器41a、41b；压力测量部43，对所述流路2中的一次侧压力Pin进行测量；以及流量修正部44，使用由所述压力测量部43而获得的一次侧压力Pin、及由所述样品气体G的定压比热CP所决定的气体系数α，来对由所述流量计算部42而获得的测量流量Qraw进行修正。
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公开(公告)号：CN102576231A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080047852.6
申请日：2010-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7784
Abstract: 本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。
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