光致抗蚀剂组合物
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101071268B

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN200710096935.4

    申请日:2007-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在上述化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻羟苯甲醛缩合而成。[化学式1]

    感光性树脂组合物
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1702554B

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN200510075828.4

    申请日:2005-05-27

    Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及的感光性树脂组合物含有:a)使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或者它们的混合物、ii)含有环氧基的不饱和化合物及iii)烯烃类不饱和化合物共聚而得到的丙烯酸类共聚物;b)1,2-醌二叠氮化合物;以及c)选自由苄醇、己醇、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚及二丙二醇二乙醚组成的组中的1种或者1种以上的溶剂。本发明涉及的感光性树脂组合物不仅光敏度、透过率、绝缘性、耐化学性等性能优越,特别是还可以显著地提高平坦性和涂布性,适宜于形成LCD制造工序的层间绝缘膜。

    光致抗蚀剂组合物
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101071268A

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200710096935.4

    申请日:2007-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀性组合物。在上述化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀性组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致抗蚀性的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻苯甲醛缩合而成。

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