光致抗蚀剂组合物
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101071268B

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN200710096935.4

    申请日:2007-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在上述化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻羟苯甲醛缩合而成。[化学式1]

    光致抗蚀剂组合物
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101071268A

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200710096935.4

    申请日:2007-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀性组合物。在上述化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀性组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致抗蚀性的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻苯甲醛缩合而成。

    透明电极的形成方法及透明电极层压体

    公开(公告)号:CN106575552A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201580043221.X

    申请日:2015-07-31

    CPC classification number: G03F7/00 H01B5/14 H01B13/00

    Abstract: 本发明涉及一种可以更稳定地形成具有微细的线宽且纵横比较大的透明电极图案的透明电极的形成方法及由此形成的透明电极层压体。所述透明电极的形成方法,包括以下步骤:将包含选自导电性聚合物、导电性碳系材料、金属纳米结构物及导电性金属氧化物中的一种以上导电性物质的透明电极层形成于基板上;将包含选自聚硅氧烷系聚合物、丙烯酸系聚合物及胺基甲酸酯系聚合物中的一种以上聚合物的保护层形成于所述透明电极层上;将光阻图案形成于所述保护层上;以及对所述光阻图案所露出之区域的保护层及透明电极层用氧化剂进行表面处理,以使所述透明电极层非导电化。

    光致抗蚀剂组合物
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101071267B

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN200710096934.X

    申请日:2007-04-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物,具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在化学式1中,R表示氢、羟基或甲基,n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物,由于加入了酚醛清漆树脂,因而具有可提高光致光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、及邻羟苯甲醛缩聚合而成。[化学式1]

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