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公开(公告)号:CN102576192B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201080048213.1
申请日:2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物,其特征在于,含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜,不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号:CN101051186B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200710091061.3
申请日:2007-04-06
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物、包含该负型感光性树脂固化物的TFT型液晶显示元件、以及利用了该负型感光性树脂组合物的TFT型液晶显示元件的图案形成方法。所述负型感光性树脂组合物的粘接强度、耐热性、绝缘性、平坦性、耐化学性和常温保存稳定性等性能优异,适用于液晶显示元件的图像形成用材料。本发明的负型感光性树脂组合物含有:a)丙烯酸类共聚物、b)光引发剂、c)具有乙烯型不饱和键的多官能性单体、d)含有环氧基或胺基的硅类化合物和e)溶剂;所述a)丙烯酸类共聚物是通过使i)苯基马来酰亚胺类化合物、ii)烯丙基丙烯酸类化合物以及iii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物进行共聚而得到的。
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公开(公告)号:CN1955843B
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN200610137563.0
申请日:2006-10-25
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物不仅显像后的均匀度、灵敏度、分辨率、耐热性、透明性等性能优异,特别是由于可实现低介电常数的有机绝缘膜,因而能够降低耗电、减少串扰,适合用于多种显示器工序中的有机绝缘膜。所述感光性树脂组合物含有:a)丙烯酸类共聚物;b)1,2-二叠氮醌化合物;以及c)溶剂,所述a)丙烯酸类共聚物是通过将下述化合物i)~iv)共聚得到的,i)下述化学式1或化学式2所示的含有POSS的不饱和化合物;ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或它们的混合物;iii)含有环氧基的不饱和化合物;以及iv)烯烃类不饱和化合物。[化学式1]???????????????????????????????????????????[化学式2]
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公开(公告)号:CN102246095B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN200980149593.5
申请日:2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,所述低聚硅氧烷化合物是使i)由下述化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到,所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer),从而能够带来工序的简化和生产费用的节约,不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异,特别是使低介电常数绝缘膜成为可能,从而能够降低耗电,并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外,使优异的耐热性带来的低释气成为可能,从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜,而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN101315521B
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN200810109365.2
申请日:2008-06-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,该感光性树脂组合物能够实现显影后的平整度、分辨率、耐热性、透过率等性能优异的有机绝缘膜,特别是能够实现高灵敏度的有机绝缘膜,由此通过缩短工序时间而能够提高生产率,不仅如此,同时该感光性树脂组合物能够使膜柔软而提高耐冲击性。本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其特征在于,该感光性树脂组合物包含0.1重量%~10重量%的选自由邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二异壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯组成的组中的一种以上的化合物作为灵敏度增强剂。
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公开(公告)号:CN101311215B
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN200810099945.8
申请日:2008-05-22
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: C08L33/06 , C08K5/09 , C08K5/3445 , G02B1/10
Abstract: 本发明提供有机保护膜组合物,其在120℃以下的低温固化工序中也具有优异的粘结力、绝缘性、平坦性等性能,适合于液晶显示元件的成像用材料,特别是在后续工序中可使显示元件的耐热性和对溶剂、酸或碱等的耐化学性提高。所述组合物的特征在于,其含有下述成分:a)100重量份丙烯酸系共聚物,所述共聚物是将5~95重量%i)下述化学式1表示的化合物与5~95重量%ii)可与该化学式1的化合物共聚的烯烃系不饱和化合物进行共聚而制造出的;b)0.001~5重量份i)热引发剂或0.001~30重量份ii)光引发剂;c)1~80重量份酸酐化合物;d)0.0001~1重量份咪唑系叔胺化合物;和e)有机溶剂,其使得上述a)~d)成分为有机保护膜组合物的10~50重量%,所述化学式1中,X为氢或甲基。[化学式1]。
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公开(公告)号:CN102576192A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080048213.1
申请日:2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物,特别是涉及一种感光性树脂组合物,其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物,其特征在于,含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜,不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象,而且容易调节图案的分辨率,特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号:CN103052916A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201180037435.8
申请日:2011-07-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物,尤其涉及一种包含a)i)丙烯酸类共聚物、ii)聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物;b)光引发剂;c)特定结构的吖啶类光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物,其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀,尤其在405nm~435nm的UV长波长中敏感度优秀,因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
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公开(公告)号:CN101319092B
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN200810110107.6
申请日:2008-06-10
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: C08L101/14 , C08L29/04 , C08K5/00 , H01L51/00 , H01L51/05 , H01L51/30 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L51/54 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供遮光型水溶性树脂组合物,其可以有效用作位于有机半导体膜和层间绝缘膜之间的遮光性保护膜,该遮光性保护膜用于防止有机电气元件的有机半导体膜在以与层间绝缘膜相接触的形式来形成的情况下结晶性降低的问题,以及防止对层间绝缘膜照射光时发生光氧化的问题。本发明涉及遮光型水溶性树脂组合物,特别是涉及其特征为含有a)水溶性树脂、b)水溶性染料化合物、c)溶剂的用于有机半导体保护膜的遮光型水溶性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN1877449B
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200610091557.6
申请日:2006-06-12
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/038 , G03F7/027 , G02F1/136 , G02F1/1333
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物,其粘着力、耐热性、绝缘性、平坦性、耐化学性等性能优异,适用于液晶显示元件的图像形成用材料,并且由于灵敏度、残膜率、UV透过率优异,因而适于用作层间有机绝缘膜;不仅如此,将该组合物用作保护层用等各种抗蚀剂树脂时,可以提高灵敏度和残膜率。本发明的负型感光性树脂组合物含有a)丙烯酸类共聚物、b)光引发剂、c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体、d)含有环氧基或胺基的硅类化合物和e)溶剂;所述a)丙烯酸类共聚物是通过使i)烯丙基丙烯酸类化合物、ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、iii)含有环氧基的不饱和化合物以及iv)烯烃类不饱和化合物进行共聚而得到的。
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