透明电极的形成方法及透明电极层压体

    公开(公告)号:CN106575552A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201580043221.X

    申请日:2015-07-31

    CPC classification number: G03F7/00 H01B5/14 H01B13/00

    Abstract: 本发明涉及一种可以更稳定地形成具有微细的线宽且纵横比较大的透明电极图案的透明电极的形成方法及由此形成的透明电极层压体。所述透明电极的形成方法,包括以下步骤:将包含选自导电性聚合物、导电性碳系材料、金属纳米结构物及导电性金属氧化物中的一种以上导电性物质的透明电极层形成于基板上;将包含选自聚硅氧烷系聚合物、丙烯酸系聚合物及胺基甲酸酯系聚合物中的一种以上聚合物的保护层形成于所述透明电极层上;将光阻图案形成于所述保护层上;以及对所述光阻图案所露出之区域的保护层及透明电极层用氧化剂进行表面处理,以使所述透明电极层非导电化。

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