公开(公告)号：CN101738854A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910209666.7

申请日：2009-11-04

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金东敏 ,  李原荣 ,  李纪万 ,  金升起 ,  崔基植 ,  诸葛银 ,  金贞元 ,  卞哲基 ,  申在浩 ,  边滋勋

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/095 ,  G03F7/012 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及一种显示器元件用图案形成方法，其用于形成可适用于剥离工序的凹割形状轮廓。本发明通过使用特定结构的聚合化合物来增加感光速度，并可在形成多层光刻胶层时容易形成凹割形状轮廓，从而容易适用于剥离工序。另外，还可以形成大厚度的图案，并且可以省略工艺中的蚀刻工序，从而可以实现工序简单化。