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公开(公告)号：CN101071268B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200710096935.4
申请日：2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，因而具有可提高光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻羟苯甲醛缩合而成。[化学式1]
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公开(公告)号：CN101993632A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010255243.1
申请日：2010-08-13
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及油墨组合物；尤其涉及包含a)高分子树脂、b)增粘剂、以及c)有机溶剂的油墨组合物，其中，作为耐酸性增强剂，还包含d)硅烷偶联剂。本发明的油墨组合物，在使用了压印法或者辊印法的基板的图案形成时，抑制酸的攻击而保护微细图案，增进微细图案以及薄膜的精密度，减少不良率，由此能够使收率改善以及提高工序的效率。
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公开(公告)号：CN101792626A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010107702.1
申请日：2010-01-29
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: C09D11/10 , C08F283/00 , C08F283/01 , H01B3/44
Abstract: 本发明涉及适用于辊印法的有机绝缘膜形成用油墨组合物，提供一种油墨组合物，其在利用辊印法形成电子元件的有机绝缘膜的时候能够改善透光率、耐药品性、高温高压下不引起变形的收缩率、与多种基板的粘结力等特性，适用于热固化或者光固化，通过增进薄膜的精密度来使收率改善和提高工序的效率。根据本发明的适用于辊印法的有机绝缘膜形成用油墨组合物，包含a)丙烯酸系共聚合树脂1～10重量份；b)丙烯酸类单体5～55重量份；c)具有2个以上的双键的交联性单体0.9999～40重量份；和d)有机溶剂5～93重量份。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101071268A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710096935.4
申请日：2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种用于制备液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体地涉及一种包含（a）由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、（b）重氮类感感光性化合物、（c）有机溶剂的光致抗蚀性组合物。在上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀性组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，因而具有可提高光致抗蚀性的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、间苯二酚及邻苯甲醛缩合而成。
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公开(公告)号：CN101071267A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710096934.X
申请日：2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种用于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，因而具有可提高光致光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、及邻羟苯甲醛缩聚合而成。
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公开(公告)号：CN101941324A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010256785.0
申请日：2010-06-13
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供压印或辊印平版印刷用模版制造装置和制造方法，由真空腔和后面支持体吸附方式来进行。该装置包含有：由与真空发生装置连接且开闭的空间构成的真空腔、位于真空腔的下部且顶面具有模具图案的母模、可上下移动地位于真空腔的上部且可附着和脱离后面支持体的后面支持体附着用卡盘以及控制部。控制部用于(a)在真空腔内形成真空，(b)将后面支持体附着于后面支持体附着用卡盘上，使附着用卡盘向下移动，将后面支持体附着到母模顶面形成的模版上，(c)在真空状态下或除去真空的状态下，在将后面支持体脱离卡盘的状态下，使附着用卡盘向上移动。该制造装置和制造方法，能实现平坦度、总节距、图案形状的正确性和其他物性优良的模版。
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公开(公告)号：CN101071267B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200710096934.X
申请日：2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种用于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体地涉及一种包含(a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。在化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明所涉及的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，因而具有可提高光致光致抗蚀剂的耐热性及图案均匀性的效果。所述酚醛清漆树脂由间甲酚、对甲酚、及邻羟苯甲醛缩聚合而成。[化学式1]
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公开(公告)号：CN101071266A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710096933.5
申请日：2007-04-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种适于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体涉及一种包含由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、重氮类感光性化合物、有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，具有优异的耐热性及分辨率，且可提高图案均匀性。所述酚醛清漆树脂由芳香族醇聚合而成，所述芳香族醇包含间甲酚、对甲酚、间苯二酚。
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