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公开(公告)号：CN106796907A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082607.7
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。
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公开(公告)号：CN103250238B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201180061020.4
申请日：2011-12-15
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 后藤博彦
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/677 , B25J15/0014 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67781
Abstract: 搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。
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公开(公告)号：CN105473290A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480048301.X
申请日：2014-09-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/68707 , B25J9/0021 , B25J19/0079 , F16C29/02 , F16C29/088 , H01L21/67766
Abstract: 密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分（43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置（P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。
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公开(公告)号：CN108780770B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201780015069.3
申请日：2017-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22
Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
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公开(公告)号：CN107924862B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201680051117.X
申请日：2016-06-24
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677 , B25J9/06
Abstract: 基板移载装置具备壳体和基板搬送机器人。壳体，与第一方向X的尺寸相比，第二方向Y的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于搬送室的第一方向X的至少一侧的至少一个开口的壁。基板搬送机器人，具有基台、机械臂、机械手、及控制器。当将从搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，连杆的连杆全长DL小于搬送室尺寸Dx，且机械手的手全长Dh为有效搬送室尺寸Dx'以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107534009B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201680024813.1
申请日：2016-04-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 后藤博彦
IPC: H01L21/677 , B25J9/06
Abstract: 本发明的衬底搬送机器人具备：机器臂，能够升降；衬底保持装置(7)，安装在机器臂上；以及衬底检测器件(23)，用来检测由衬底保持装置(7)保持的衬底。衬底检测器件(23)具有：衬底传感器，用来检测衬底；以及传感器升降器件(16、17)，用来不使机器臂升降而使衬底传感器升降，以扫描包含衬底的配置位置的区域。本发明可一边防止机器人与装置碰撞一边无障碍地检测具备具有小尺寸的开口部的装置内的衬底。
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公开(公告)号：CN109791908A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059358.3
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。
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公开(公告)号：CN107534007A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680013363.6
申请日：2016-03-03
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 后藤博彦
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07
Abstract: 本发明的控制器件(12)使机器人臂(4)及衬底保持装置(7)实施如下动作：掌片部件进入动作，使一对掌片部件(25、26)进入至衬底载置构造；衬底接收动作，以处于衬底非保持状态的掌片部件(25)接收载置在衬底载置构造的上段的衬底；及衬底载置动作，将处于衬底保持状态的掌片部件(26)的衬底载置在下段。将通过衬底接收动作接收衬底的时间、与通过衬底载置动作载置衬底的时间错开。本发明可提供一种不论衬底保持装置的衬底固定方式的种类，均能缩短衬底搬送时的作业时间的衬底搬送机器人。
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公开(公告)号：CN107530876A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201580078980.X
申请日：2015-05-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 水平多关节机器人（1）具备：第一连杆（41）；基端部与第一连杆（41）的梢端部的上下一方连结的第二连杆（42）；基端部与第二连杆（42）的梢端部的上下另一方连结的第三连杆（43）；以及间隔件（49），配置于第一连杆（41）及第三连杆（43）中一方的连杆与第二连杆（42）的连结部，以第三连杆（43）的动作轨迹不与第一连杆（41）发生干涉的形式，使第二连杆（42）和上述一方的连杆上下隔开。
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公开(公告)号：CN103250238A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201180061020.4
申请日：2011-12-15
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 后藤博彦
IPC: H01L21/677 , B25J9/06 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/677 , B25J15/0014 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67781
Abstract: 搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。
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