公开(公告)号：CN109564889A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780050991.6

申请日：2017-09-21

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  吉田哲也 ,  丹治彦 ,  藤森一夫 ,  山下雄大 ,  住友雅彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J13/08 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

Abstract: 具备连结在机器人手臂的手稍端部的基部、与基部结合并保持基板的基板保持部的基板搬送手的诊断系统，具备：固定于基部并拍摄基板保持部的摄影机；取得摄影机拍摄的影像信息，并基于该影像信息诊断基板保持部的健全性的诊断装置。

公开(公告)号：CN107534009A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680024813.1

申请日：2016-04-21

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  B25J9/06 ,  B25J9/1697 ,  B25J11/0095 ,  B25J15/0014 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明的衬底搬送机器人具备：机器臂，能够升降；衬底保持装置(7)，安装在机器臂上；以及衬底检测器件(23)，用来检测由衬底保持装置(7)保持的衬底。衬底检测器件(23)具有：衬底传感器，用来检测衬底；以及传感器升降器件(16、17)，用来不使机器臂升降而使衬底传感器升降，以扫描包含衬底的配置位置的区域。本发明可一边防止机器人与装置碰撞一边无障碍地检测具备具有小尺寸的开口部的装置内的衬底。

公开(公告)号：CN107408527A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680019354.8

申请日：2016-04-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  杉山健二

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B25J15/06 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明的基板搬送机器人的末端执行器具备：多片叶片；叶片支撑部，其以叶片彼此的基板垂线方向的间隔为可变的方式支撑叶片；以及叶片驱动装置，其使多个叶片支撑部中的至少一者相对于其他叶片朝基板垂线方向相对地移动。叶片分别具有：第一主面，其朝向基板垂线方向的一方；第二主面，其是第一主面的相反面；第一基板保持机构，其使基板保持在第一主面；以及第二基板保持机构，其使基板保持在第二主面。

公开(公告)号：CN107534007B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201680013363.6

申请日：2016-03-03

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明的控制器件(12)使机器人臂(4)及衬底保持装置(7)实施如下动作：掌片部件进入动作，使一对掌片部件(25、26)进入至衬底载置构造；衬底接收动作，以处于衬底非保持状态的掌片部件(25)接收载置在衬底载置构造的上段的衬底；及衬底载置动作，将处于衬底保持状态的掌片部件(26)的衬底载置在下段。将通过衬底接收动作接收衬底的时间、与通过衬底载置动作载置衬底的时间错开。本发明可提供一种不论衬底保持装置的衬底固定方式的种类，均能缩短衬底搬送时的作业时间的衬底搬送机器人。

公开(公告)号：CN106104788B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201480077355.9

申请日：2014-03-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E）的第二升降体（22A～E）。在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部（11A～E）抬起该基板（100）。使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。

公开(公告)号：CN106104788A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480077355.9

申请日：2014-03-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 角度对准装置（3）包括将多个基板（100）的每个以横放的状态在上下方向并列地保持的多个保持部（10A～E）、包含多个第一支持部（11A～E）的第一升降体（21A～E）、以及包含多个第二支持部（12A～E）的第二升降体（22A～E）。在依次选择基板的同时重复进行如下一系列的角度对准动作：使多个保持部（10A～E）一体旋转而对选择的一片基板（100）进行角度对准，使与角度对准完的基板（100）对应的第一支持部（11A～E）上升并用该第一支持部（11A～E）抬起该基板（100）。使多个第二支持部（12A～E）一起上升，支持在多个第一支持部（11A～E）的每个上的角度对准完毕的多片基板（100Z）的每个由多个第二支持部（12A～E）的每个抬起。

公开(公告)号：CN109791908B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN201780059358.3

申请日：2017-09-26

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦 ,  吉田哲也 ,  丹治彦 ,  藤森一夫 ,  山下雄大 ,  住友雅彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/22 ,  B25J13/08 ,  G05B19/42

Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。

公开(公告)号：CN106796907B

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201480082607.7

申请日：2014-10-10

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 加藤烈 ,  仓田伊织 ,  斉藤雅行 ,  后藤博彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 本案涉及一种衬底搬送机器人及其运转方法。该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。

公开(公告)号：CN105659373B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201380080598.3

申请日：2013-11-06

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 后藤博彦

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  H01L21/67167

Abstract: 基板搬运装置（1）具备第一手部机构（40）以及第二手部机构（140），第一手部机构（40）包括：第一下臂部（41）；第一上臂部（42）；梢端部为第一基板保持部（43a）的第一手部（43）；和使第一手部（43）从动于第一上臂部（42）的转动进行转动的第一从动机构（44）；且形成为通过第一下臂部（41）、第一上臂部（42）以及第一手部（43）的转动，使第一基板保持部（43a）在缩回位置和伸展位置之间移动的结构；第二手部机构（140）包括：第二下臂部（141）；第二上臂部（142）；梢端部为第二基板保持部（143a）的第二手部（143）；和使第二手部（143）从动于第二上臂部（142）的转动进行转动的第二从动机构（144）；且形成为通过第二下臂部（141）、第二上臂部（142）以及第二手部（143）的转动，使第二基板保持部（143a）在缩回位置和伸展位置之间与第一基板保持部（43a）同步地移动的结构。

公开(公告)号：CN107924862A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680051117.X

申请日：2016-06-24

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  川崎机器人(美国)有限公司

Inventor： 后藤博彦 ,  曾铭 ,  艾薇许·巴瓦尼 ,  小野茂树

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707

Abstract: 基板移载装置具备壳体和基板搬送机器人。壳体，与第一方向X的尺寸相比，第二方向Y的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于搬送室的第一方向X的至少一侧的至少一个开口的壁。基板搬送机器人，具有基台、机械臂、机械手、及控制器。当将从搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，连杆的连杆全长DL小于搬送室尺寸Dx，且机械手的手全长Dh为有效搬送室尺寸Dx'以上。