-
公开(公告)号：CN114269666A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080058629.5
申请日：2020-08-04
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Abstract: 基板搬运机器人(20)具备：基台(21)，其设置于搬运室(1)内；机械臂(23)，其具有在水平面内转动的多个连杆(24～26)，并与基台连结；第一机械手(31)和第二机械手(32)，它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的机械手轴(LH)旋转，并对基板(90)进行支承；以及控制装置(40)。控制装置执行如下处理，即：第一移载处理，使第一机械手从搬运室进入收容室内，在收容室内的载置部与第一机械手之间移载基板；退出处理，使第一机械手从收容室向搬运室退出；以及第二移载处理，使第二机械手从搬运室进入收容室内，在载置部与第二机械手之间移载基板。在退出处理中，机械手轴相对于第一机械手的基准位置(P31)而从开口(15)的中心线(C15)离开。
-
公开(公告)号：CN114269666B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202080058629.5
申请日：2020-08-04
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Abstract: 基板搬运机器人(20)具备：基台(21)，其设置于搬运室(1)内；机械臂(23)，其具有在水平面内转动的多个连杆(24～26)，并与基台连结；第一机械手(31)和第二机械手(32)，它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的机械手轴(LH)旋转，并对基板(90)进行支承；以及控制装置(40)。控制装置执行如下处理，即：第一移载处理，使第一机械手从搬运室进入收容室内，在收容室内的载置部与第一机械手之间移载基板；退出处理，使第一机械手从收容室向搬运室退出；以及第二移载处理，使第二机械手从搬运室进入收容室内，在载置部与第二机械手之间移载基板。在退出处理中，机械手轴相对于第一机械手的基准位
-
公开(公告)号：CN106796907B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201480082607.7
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本案涉及一种衬底搬送机器人及其运转方法。该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。
-
公开(公告)号：CN106796907A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082607.7
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.015 seconds)
