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公开(公告)号：CN112673464B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN201980059198.1
申请日：2019-08-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J19/00
Abstract: 本发明提供能够以简单的结构对多个臂进行冷却的机器人。机器人具备：第1臂和第2臂，它们对搬运物进行搬运，并能够转动；第1转动体，其支承第1臂，并且具有第1流体用通路、和与第1流体用通路连通的至少一个第2流体用通路；基端侧臂，其具有内部空间，并具有供第1转动体的一部分插入的孔部；第2转动体，其支承第2臂，并且具有一端与第2流体用通路连通、另一端与内部空间连通的第3流体用通路，在孔部的内周面与第1转动体之间至少配置有该第2转动体的一部分；供给装置，其配置于内部空间，与第1流体用通路的上游端侧连接，并且向第1流体用通路供给流体；第1马达，其使第1转动体转动；以及第2马达，其使第2转动体转动。
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公开(公告)号：CN103189168B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201180051810.4
申请日：2011-11-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/06 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/042 , B25J9/044 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67742 , H01L21/67766
Abstract: 本发明提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。本发明的搬送机械手包含：第1连杆部件(2)，可绕着第1轴线(L1)旋转地构成；第2连杆部件(3)，可绕着位于与第1轴线相距指定距离的位置上的第2轴线(L2)旋转地构成；保持部件(7)，可绕着位于与第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线(L3)旋转且可保持物品地构成；及升降驱动器件(4)，用来至少升降驱动保持部件。第1连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，升降驱动器件配置在第1连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分。
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公开(公告)号：CN107530876A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201580078980.X
申请日：2015-05-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 水平多关节机器人（1）具备：第一连杆（41）；基端部与第一连杆（41）的梢端部的上下一方连结的第二连杆（42）；基端部与第二连杆（42）的梢端部的上下另一方连结的第三连杆（43）；以及间隔件（49），配置于第一连杆（41）及第三连杆（43）中一方的连杆与第二连杆（42）的连结部，以第三连杆（43）的动作轨迹不与第一连杆（41）发生干涉的形式，使第二连杆（42）和上述一方的连杆上下隔开。
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公开(公告)号：CN103189168A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201180051810.4
申请日：2011-11-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/06 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J18/04 , B25J9/042 , B25J9/044 , B65G49/067 , B65G2249/02 , H01L21/67742 , H01L21/67766
Abstract: 本发明提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。本发明的搬送机械手包含：第1连杆部件(2)，可绕着第1轴线(L1)旋转地构成；第2连杆部件(3)，可绕着位于与第1轴线相距指定距离的位置上的第2轴线(L2)旋转地构成；保持部件(7)，可绕着位于与第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线(L3)旋转且可保持物品地构成；及升降驱动器件(4)，用来至少升降驱动保持部件。第1连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，升降驱动器件配置在第1连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分。
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公开(公告)号：CN112673464A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980059198.1
申请日：2019-08-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J19/00
Abstract: 本发明提供能够以简单的结构对多个臂进行冷却的机器人。机器人具备：第1臂和第2臂，它们对搬运物进行搬运，并能够转动；第1转动体，其支承第1臂，并且具有第1流体用通路、和与第1流体用通路连通的至少一个第2流体用通路；基端侧臂，其具有内部空间，并具有供第1转动体的一部分插入的孔部；第2转动体，其支承第2臂，并且具有一端与第2流体用通路连通、另一端与内部空间连通的第3流体用通路，在孔部的内周面与第1转动体之间至少配置有该第2转动体的一部分；供给装置，其配置于内部空间，与第1流体用通路的上游端侧连接，并且向第1流体用通路供给流体；第1马达，其使第1转动体转动；以及第2马达，其使第2转动体转动。
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公开(公告)号：CN106796907B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201480082607.7
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本案涉及一种衬底搬送机器人及其运转方法。该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。
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公开(公告)号：CN106796907A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082607.7
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。
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