公开(公告)号：CN106796907B

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201480082607.7

申请日：2014-10-10

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 加藤烈 ,  仓田伊织 ,  斉藤雅行 ,  后藤博彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 本案涉及一种衬底搬送机器人及其运转方法。该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。

公开(公告)号：CN106796907A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201480082607.7

申请日：2014-10-10

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 加藤烈 ,  仓田伊织 ,  斉藤雅行 ,  后藤博彦

IPC: H01L21/677

Abstract: 该衬底搬送机器人(1)具备：左右臂(2La、2Ra、2Lb、2Rb)，具有共用的回转轴线(A0)；臂驱动器件，用以驱动左右臂；及控制器件，用以控制臂驱动器件。以在将回转滑轮固定的状态下通过第1驱动部使第1连杆部件绕回转轴线旋转而使臂伸缩时的衬底保持部件(5a、5b)的移动轨迹成为大致直线状的方式，设定回转滑轮、第1滑轮、第2滑轮、及第3滑轮间的滑轮比。由此，能够使臂伸缩时的衬底搬送部件的移动轨迹为大致直线状。