公开(公告)号：CN112368819B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201980043224.1

申请日：2019-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾 ,  冈田拓之

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。

公开(公告)号：CN106796906B

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201480082530.3

申请日：2014-10-10

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/16 ,  B25J15/08

Abstract: 使用晶圆握持手将圆板状的晶圆向纵放置槽搬运的晶圆搬运方法包括：晶圆握持手以晶圆的边缘上的至少三个支点握持晶圆；握持住晶圆的晶圆握持手以使晶圆以纵姿势位于纵放置槽的上方的形式移动；晶圆握持手解除晶圆的握持，以晶圆的边缘上的两个支点支承晶圆；以及支承晶圆的晶圆握持手向下方移动，直至晶圆的边缘进入至纵放置槽为止。

公开(公告)号：CN106104787B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201480071064.9

申请日：2014-12-22

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。

公开(公告)号：CN104937708A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201380067574.4

申请日：2013-12-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。

公开(公告)号：CN113165189B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN201980079455.8

申请日：2019-12-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 斋藤雅行 ,  福岛崇行

IPC: B25J13/08 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。

公开(公告)号：CN110383453B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201880018228.X

申请日：2018-03-14

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07

Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。

公开(公告)号：CN106104787A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480071064.9

申请日：2014-12-22

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。

公开(公告)号：CN105981155A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201480068130.7

申请日：2014-12-15

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68792 ,  H01L23/544 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54486

Abstract: 基板对准装置(1)，具备：多个旋转台(4)，将多片基板水平且上下保持，且绕轴线旋转；旋转驱动装置(2)，使多个旋转台(4)同步旋转；传感器(13)，检测分别保持在多个旋转台(4)的基板的切口(90)；多个支承爪(50)，支承旋转台(4)上的基板的周缘部；支承爪驱动构造体(70)，使多个支承爪(50)在内方位置与外方位置之间个别地水平移动；以及升降装置(30)，使多个支承爪驱动构造体在高位置与低位置之间一起升降。基板对准装置(1)根据由传感器(13)分别检测的切口(90)的位置使旋转驱动装置(2)、支承爪驱动构造体(70)、及升降装置(30)进行既定的动作，该既定的动作包括仅将完成对准的基板从所述旋转台举起的基板举起动作，藉此使多个基板的切口(90)位于基准旋转角度位置。

公开(公告)号：CN103688348A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201280035993.5

申请日：2012-08-09

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  小野茂树 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置（1），在托板（10）上具备多个支持单元（3、3）。支持单元（3）具备以使多个半导体晶圆（9）相互平行且上下隔着间隔的方式支持各半导体晶圆（9）的周缘部的多个爪片（30、30）、和变更爪片（30）的上下间隔的间距变更机构（4）。间距变更机构（4）具备上下隔着间隔支持多个爪片（30、30），且在上下方向上弹性变形的螺旋弹簧（40）、和使该螺旋弹簧（40）在上下弹性变形的工作机构（5）。工作机构（5）具备嵌入于螺旋弹簧（40）中并升降的活塞轴（50）。

公开(公告)号：CN110249420B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201880009264.X

申请日：2018-01-29

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  福岛崇行

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。