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公开(公告)号：CN118284498A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202280077540.2
申请日：2022-12-20
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J17/00 , B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 机器人具有用于驱动关节的传动齿轮组。机器人包括第一齿轮、第二齿轮以及润滑用齿轮。所述第二齿轮的直径大于所述第一齿轮的直径，且与所述第一齿轮咬合。所述润滑用齿轮与所述第一齿轮咬合。所述关节的旋转角度范围被限制。通过旋转驱动与所述第二齿轮咬合的状态的所述第一齿轮，使所述关节在所述旋转角度范围内旋转。所述润滑用齿轮由含油树脂形成。
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公开(公告)号：CN119404301A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202380048697.7
申请日：2023-07-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/10
Abstract: 本发明提供一种机器人系统。机器人系统(100)包括机器人(1)和控制装置(6)，所述机器人(1)具有手(3)和机器人臂(2)，所述手(3)保持工件(W)，所述机器人臂(2)连接有手(3)，所述控制装置(6)使机器人臂(2)动作且进行手(3)的位置控制。控制装置(6)根据由手(3)所保持的工件(W)，来对位置控制中的手(3)的目标高度进行修正。
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公开(公告)号：CN108698222B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201780013321.7
申请日：2017-02-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 芝田武士
IPC: B25J9/06 , B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 本发明的机器人具备：升降驱动机构(1)，使具有保持衬底的末端执行器的机器人臂升降；及盖器件，覆盖升降驱动机构(1)；升降驱动机构(1)具有：固定部(2)，具有在上下方向上延伸的导轨(10)；及升降部(3)，沿着导轨(10)被升降驱动；机器人臂具有：基部连杆(4)，连结在升降部(3)；及连杆部件，连结在基部连杆(4)；盖器件具有：固定侧盖(20)，设置在固定部(2)，供升降部(3)在其内部移动；及导轨用盖(19)，设置在升降部(3)，覆盖当升降部(3)下降时露出的导轨(10)的上部。本发明可提供一种不伴随机器人臂的刚性降低等不良情况而能够使衬底搬送装置小型化的衬底搬送机器人。
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公开(公告)号：CN108698222A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013321.7
申请日：2017-02-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 芝田武士
IPC: B25J9/06 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/06 , B25J18/04 , B65G49/07 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/67766 , H01L21/68707
Abstract: 本发明的机器人具备：升降驱动机构(1)，使具有保持衬底的末端执行器的机器人臂升降；及盖器件，覆盖升降驱动机构(1)；升降驱动机构(1)具有：固定部(2)，具有在上下方向上延伸的导轨(10)；及升降部(3)，沿着导轨(10)被升降驱动；机器人臂具有：基部连杆(4)，连结在升降部(3)；及连杆部件，连结在基部连杆(4)；盖器件具有：固定侧盖(20)，设置在固定部(2)，供升降部(3)在其内部移动；及导轨用盖(19)，设置在升降部(3)，覆盖当升降部(3)下降时露出的导轨(10)的上部。本发明可提供一种不伴随机器人臂的刚性降低等不良情况而能够使衬底搬送装置小型化的衬底搬送机器人。
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公开(公告)号：CN105473290A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480048301.X
申请日：2014-09-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/68707 , B25J9/0021 , B25J19/0079 , F16C29/02 , F16C29/088 , H01L21/67766
Abstract: 密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分（43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置（P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。
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公开(公告)号：CN115551684A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202180033503.7
申请日：2021-05-07
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J17/02
Abstract: 本发明提供了一种手腕装置。该手腕装置包括第一要素(5)、第二要素(6)、第五马达(M5)、第六马达(M6)、第五传递机构(T5)和第六传递机构(T6)，所述第一要素(5)可围绕第五轴(L5)旋转地连接在臂(2)，所述第二要素(6)可围绕第六轴(L6)旋转地连接在第一要素(5)，所述第五马达(M5)旋转驱动第一要素(5)，所述第六马达(M6)旋转驱动第二要素(6)，所述第五传递机构(T5)将第五马达(M5)的驱动力传递给第一要素(5)，所述第六传递机构(T6)将第六马达(M6)的驱动力传递给第二要素(6)。第六传递机构(T6)具有第一齿轮(84)和第二齿轮(85)，在驱动力的传递方向的第一齿轮(84)之后使驱动力的旋转速度减速，所述第一齿轮(84)被臂(2)可旋转地支撑，所述第二齿轮(85)被第一要素(5)可旋转地支撑且与第一齿轮(84)啮合。
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公开(公告)号：CN108780771A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780018545.7
申请日：2017-03-01
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 芝田武士
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 基板搬送手，具备：外壳；薄板状的叶片，其基端部结合于外壳；前方导引部，设于叶片的梢端部，具有离叶片的高度彼此相异的基板的第一支持部及第二支持部；第一后方导引部，设于叶片的基端部，具有离叶片的高度与前方导引部的第一支持部一致的部分；第二后方导引部，设于叶片的基端侧，具有离叶片的高度与前方导引部的第二支持部一致的部分；驱动装置，设置于外壳内，具有对支持于叶片的基板进退移动的输出端，并使与该输出端结合的第二后方导引部在不与叶片在该叶片的垂线方向重叠的区域移动。
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公开(公告)号：CN104854690A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201380067954.8
申请日：2013-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/681 , B25J15/0014 , H01L21/67259 , H01L21/67265 , H01L21/68707 , H01L21/67778
Abstract: 根据本发明的末端执行器（1）具备：手部（10）；设置于手部（10）基板保持部（11）；设置于手部的梢端部（10b）以及（10c）映射检测部（12）；设置于手部（10），产生检测光的发光部（13）；设置于手部（10），且接受检测光后将该检测光转换成电输出的受光部（14）；和以从发光部（13）发射的检测光通过其中并入射至受光部（14）的形式的光路（15）；光路（15）形成为如下结构：由映射检测部（12）检测出的卡匣（6）内的基板（W）遮挡检测光（B1），且保持于基板保持部（11）的基板（W）遮挡检测光（B2）。
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