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公开(公告)号：CN110249420A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201880009264.X
申请日：2018-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。
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公开(公告)号：CN109791909A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780060117.0
申请日：2017-10-17
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 一种基板把持手，是把持圆板状的基板W的基板把持手，且具备基底板（11）及引导构件（12），该引导构件（12）设置于基底板（11），从水平方向观察时形成为L字状，在底面（12b）的基端部设置水平部（12h），且以底面（12b）与内壁面（12i）所成的角部即第一角部（12a1）成为曲线状的形式形成。
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公开(公告)号：CN109716500A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780058115.8
申请日：2017-09-26
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B25J13/08 , G05B19/42
Abstract: 一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息；操作部，其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息；画面显示部，其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面；机器人动作控制部，其按照操作信息，控制机器臂的动作；及教示数据记录部，其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。
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公开(公告)号：CN104854690B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380067954.8
申请日：2013-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/681 , B25J15/0014 , H01L21/67259 , H01L21/67265 , H01L21/68707
Abstract: 根据本发明的末端执行器（1）具备：手部10）；设置于手部（10）基板保持部（11）；设置于手部的梢端部（10b）以及（10c）映射检测部（12）；设置于手部（10），产生检测光的发光部（13）；设置于手部（10），且接受检测光后将该检测光转换成电输出的受光部（14）；和以从发光部（13）发射的检测光通过其中并入射至受光部（14）的形式的光路（15）；光路（15）形成为如下结构：由映射检测部（12）检测出的卡匣（6）内的基板（W）遮挡检测光（B1），且保持于基板保持部（11）的基板W）遮挡检测光（B2）。
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公开(公告)号：CN101983463A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200980111909.1
申请日：2009-04-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H02G11/00 , B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: B25J19/0025 , H01L21/67766 , H02G11/00
Abstract: 本发明的物品输送机器人装置具备：水平底座；水平移动体，在水平方向上移动自如地支撑在上述水平底座上；机器人主体，支撑在上述水平移动体上，用于物品输送；配线及配管的至少一方，从上述水平底座导向上述机器人主体；约束体，绕设在上述水平移动体上的支点部摆动自如地支撑，限制上述配线及配管的至少一方的一部分的变形。
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公开(公告)号：CN112840446B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980059034.9
申请日：2019-08-26
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor： 吉田哲也 , 阿维什·阿肖克·巴瓦尼 , 曾铭
IPC: H01L21/677
Abstract: 基板移载装置的控制方法包含：使保持有基板的基板保持手向规定在对准器周围的规定的准备位置移动；使基板保持手向规定在对准器的规定的载置位置移动，而将基板向对准器的旋转台移载；一边使基板保持手在规定在比准备位置靠近载置位置的位置的规定的待机位置待机，一边使基板在对准器对准；使基板保持手向载置位置移动，而将基板从对准器向基板保持手移载；以及使保持有基板的基板保持手向准备位置移动。
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公开(公告)号：CN110383453B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201880018228.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。
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公开(公告)号：CN109564889A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780050991.6
申请日：2017-09-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/06 , B65G49/07
Abstract: 具备连结在机器人手臂的手稍端部的基部、与基部结合并保持基板的基板保持部的基板搬送手的诊断系统，具备：固定于基部并拍摄基板保持部的摄影机；取得摄影机拍摄的影像信息，并基于该影像信息诊断基板保持部的健全性的诊断装置。
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公开(公告)号：CN105415346A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510663580.7
申请日：2010-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/00 , B25J9/14 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/0014 , B25J9/042 , B25J9/10 , B25J11/0095 , B25J15/0052 , B25J15/0616 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , Y10S414/137 , Y10S414/141 , Y10T74/20305
Abstract: 本发明的末端执行器构成为安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑多个托板部件，与多个托板部件一体地被机器人驱动；以及托板驱动单元，使多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变托板间隔。
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公开(公告)号：CN101983463B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200980111909.1
申请日：2009-04-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H02G11/00 , B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: B25J19/0025 , H01L21/67766 , H02G11/00
Abstract: 本发明的物品输送机器人装置具备：水平底座；水平移动体，在水平方向上移动自如地支撑在上述水平底座上；机器人主体，支撑在上述水平移动体上，用于物品输送；配线及配管的至少一方，从上述水平底座导向上述机器人主体；约束体，绕设在上述水平移动体上的支点部摆动自如地支撑，限制上述配线及配管的至少一方的一部分的变形。
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