公开(公告)号：CN110383453B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201880018228.X

申请日：2018-03-14

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07

Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。

公开(公告)号：CN112368819B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201980043224.1

申请日：2019-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾 ,  冈田拓之

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。

公开(公告)号：CN112368819A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN201980043224.1

申请日：2019-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾 ,  冈田拓之

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。

公开(公告)号：CN112585739A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980055082.0

申请日：2019-11-05

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  松冈翔吾

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 一种机器人手，用于与基板的边缘上的至少2个部位抵接从而把持前述基板，其特征在于，具备：基座体，其被规定有使得基板的中心位于沿长度方向延伸的中心线上的把持位置；滑动面，其设置于较前述中心线上的第2抵接部靠基端侧的位置，并能够与第2抵接部一体地移动；以及可动体，其具有设置于较前述中心线上的滑动面靠基端侧的被滑动面，在把持基板时，在前述中心线上向前端侧移动，由此利用被滑动面推压滑动面从而使滑动面和第2抵接部向前端侧移动，在把持基板时，第2抵接部从基板受到反作用力，因此伴随着滑动面在被滑动面上滑动，第2抵接部向基座体侧移动。

公开(公告)号：CN113056815A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201980071498.1

申请日：2019-11-05

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  松冈翔吾

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本发明是用于与基板的边缘上的至少两个部位抵接来把持上述基板的机械手，其特征在于，上述机械手具备：基座体，规定基板的中心位于在长度方向上延伸的中心线上那样的把持位置；和旋转部，能够以存在于比上述中心线上的第2抵接部靠基端侧的位置的被支承点为中心，在长度方向与厚度方向相交的平面上与第2抵接部一体地旋转，并且能够与上述第2抵接部一体地移动，在把持基板时，由于第2抵接部从基板受到反作用力，因此旋转部和第2抵接部以被支承点为中心在长度方向与厚度方向相交的平面上向基座体侧一体地旋转。

公开(公告)号：CN110383453A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880018228.X

申请日：2018-03-14

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田哲也 ,  福岛崇行 ,  木下真也 ,  松冈翔吾

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/00 ,  B65G49/07

Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。