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公开(公告)号：CN112368819B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201980043224.1
申请日：2019-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。
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公开(公告)号：CN118435341A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202280085634.4
申请日：2022-12-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 木下真也
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 本公开涉及基板保持操作手和基板搬运机器人。本发明的基板保持操作手(20)具备：多个托片(30)；连杆机构(40)，支承多个托片(30)；以及力赋予部件(70)，对连杆机构(40)向托片(40)彼此之间的间距(p)变大的方向赋予力。
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公开(公告)号：CN110383453B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201880018228.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。
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公开(公告)号：CN115803864A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180038916.4
申请日：2021-05-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 木下真也
IPC: H01L21/677 , B25J15/00
Abstract: 本发明公开了一种基板保持装置，该基板保持装置的可维护性得到了提高。基板保持装置(2)包括基座(3)和多个保持体(5)，该多个保持体(5)被安装在基座(3)且保持基板。多个保持体(5)在规定的排列方向排列，且与基准面(R)平行地并且可装卸地安装在基座(3)，该基准面(R)是与排列方向交叉的面。
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公开(公告)号：CN110383453A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880018228.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 一种基板搬送装置，其具备：基板握持手（3）；第一保持构件（4A），其设于基板握持手（3）的梢端部，且具有多个第一爪部；第二保持构件（4B），其设于基板握持手（3）的基端部，且具有多个第二爪部；第一传感器（11A），其设于基板握持手（3）的基端部，且以照射光或超声波并检测基板（9）的形式构成；以及控制装置（200），其使第一传感器（11A）朝向相邻的基板（9）之间的空间照射光或超声波，并判定基板（9）是否受到正常保持。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106104785A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480074387.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/67207 , H01L21/67265 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。
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公开(公告)号：CN118476016A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202280086501.9
申请日：2022-12-21
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 木下真也
IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B65G49/07
Abstract: 本公开涉及基板保持操作手和基板搬运机器人。本发明的基板保持操作手(20)具备：多个托片(30b)，分别支承基板(W)，并在相互分离的状态下层叠；和支承机构(40)，支承多个托片(30b)。多个托片(30b)与支承机构(40)通过偏心部件(50)连接。
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公开(公告)号：CN110249420B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201880009264.X
申请日：2018-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。
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公开(公告)号：CN106104785B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201480074387.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。
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公开(公告)号：CN112368819A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201980043224.1
申请日：2019-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。
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