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公开(公告)号：CN106104787A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480071064.9
申请日：2014-12-22
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/68 , B25J15/08 , B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。
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公开(公告)号：CN106796906B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201480082530.3
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J15/08
Abstract: 使用晶圆握持手将圆板状的晶圆向纵放置槽搬运的晶圆搬运方法包括：晶圆握持手以晶圆的边缘上的至少三个支点握持晶圆；握持住晶圆的晶圆握持手以使晶圆以纵姿势位于纵放置槽的上方的形式移动；晶圆握持手解除晶圆的握持，以晶圆的边缘上的两个支点支承晶圆；以及支承晶圆的晶圆握持手向下方移动，直至晶圆的边缘进入至纵放置槽为止。
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公开(公告)号：CN106104787B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201480071064.9
申请日：2014-12-22
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/68 , B25J15/08 , B65G49/07 , H01L21/677
Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。
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公开(公告)号：CN104937708A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201380067574.4
申请日：2013-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J11/0095 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106796906A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082530.3
申请日：2014-10-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J15/08
Abstract: 使用晶圆握持手将圆板状的晶圆向纵放置槽搬运的晶圆搬运方法包括：晶圆握持手以晶圆的边缘上的至少三个支点握持晶圆；握持住晶圆的晶圆握持手以使晶圆以纵姿势位于纵放置槽的上方的形式移动；晶圆握持手解除晶圆的握持，以晶圆的边缘上的两个支点支承晶圆；以及支承晶圆的晶圆握持手向下方移动，直至晶圆的边缘进入至纵放置槽为止。
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公开(公告)号：CN106104785A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480074387.3
申请日：2014-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
CPC classification number: H01L21/67766 , H01L21/67207 , H01L21/67265 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。
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公开(公告)号：CN110249420A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201880009264.X
申请日：2018-01-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , B65G49/07
Abstract: 本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。
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公开(公告)号：CN106104786B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201480074391.X
申请日：2014-06-27
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08 , H01L21/02
Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。
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公开(公告)号：CN104937708B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201380067574.4
申请日：2013-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J11/0095 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67781 , H01L21/68707
Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。
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