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公开(公告)号：CN106017349A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610401870.9
申请日：2016-06-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明为一种基于白光干涉术的测试系统及其测试方法，其特征在于：所述的测试系统包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、压电陶瓷控制器、气浮平台、白光卤素光源和PC机。本发明的测试方法通过PC机操作压电陶瓷控制器控制压电陶瓷带动被测样品进行垂直扫描，使干涉条纹扫过被测区域，并由数字CCD摄像机记录采集的图像；PC机对采集的图像滤波后提取单个像素点的白光干涉信号，减去得到的白光干涉条纹的背景光强值，对各像素点的光强进行时域到频域的转换，在频域内做分解，得到波数和相位的关系；通过综合干涉信号频域内波数与相位信息从而得到零光程差的位置，实现表面高度信息的提取。
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公开(公告)号：CN105865389A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610401901.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B21/042
Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域；所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识；所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅；所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺，所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向，便于快速定位B区域和C区域，并通过坐标关系实现重复性测量。
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公开(公告)号：CN109375355A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811221733.2
申请日：2018-10-19
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种共聚焦三维测量装置及其多孔径尼普科夫圆盘，由于在多孔径尼普科夫圆盘上至少设有一个环形的扫描带，不同的扫描带中的透过孔的直径不同，这样，就可以根据显微物镜的放大倍率而选择具有合适直径的透光孔的扫描带来过滤和聚焦光线，从而使得合适直径的透光孔处于工作状态，使得测量装置的分辨力和精度指标达到最优状态。由此可见，本发明的一种共聚焦三维测量装置中的多孔径尼普科夫圆盘能够提高测量分辨力和精度。
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公开(公告)号：CN105865389B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201610401901.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域；所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识；所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅；所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺，所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向，便于快速定位B区域和C区域，并通过坐标关系实现重复性测量。
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公开(公告)号：CN108362257A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810470517.5
申请日：2018-05-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微球旋转夹持装置，主要解决现有原子力显微镜测量范围小，满足不了微球的全表面测量的技术问题。本发明技术方案为：一种微球旋转夹持装置，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。本发明可以实现微球的夹持，并可以将微球按一定的规律旋转一定的角度进行测量，以扩大原子力显微镜在微球表面的测量范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105387882A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510759877.3
申请日：2015-11-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01D11/26
CPC classification number: G01D11/26
Abstract: 本发明公开了一种应用于仪器的防护外罩，包括：一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接；和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部；其中，所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖，并且，该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接，该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时，可扩大仪器的计量测试视野和作业空间，便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时，罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间，能够为仪器提供优良的实验环境。
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公开(公告)号：CN110726378A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN109238155B
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201811296986.6
申请日：2018-11-01
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明为一种采用等效物理结构模型测量SiO2薄膜厚度的方法，其特征在于：所述测量SiO2薄膜厚度的方法是基于椭偏法采用微纳米薄膜厚度标准样片结合等效物理结构模型进行测量SiO2薄膜的厚度，所述的等效物理结构模型是根据SiO2薄膜的实际多层膜物理结构模型建立的简化等效物理结构模型，实际多层膜物理结构模型顺序包括表面粗糙层、SiO2薄膜层、中间混合层及Si基底层，其中所述的中间混合层为Si基底层与SiO2薄膜层之间反应产生的SixOy产物膜层。本发明可保证不同厂家、型号的椭偏仪建立薄膜物理结构模型的统一性与结果的一致性，为建立和完善微纳米薄膜量值溯源体系奠定基础。
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公开(公告)号：CN106931916A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710130912.4
申请日：2017-03-07
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
CPC classification number: G01B21/042 , G01B15/00 , G01Q40/02
Abstract: 本发明为一种微纳米台阶标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的微纳米台阶标准样板包括A工作区域及B循迹区域；所述的A工作区域内设有一个纳米级台阶、四个校准定位块及四个循迹参考定位块，通过所述B循迹区域内两对相互对称的等腰三角形形状的循迹标识符配合设置的设计单位标识符和样板型号标识符，确定微纳米台阶标准样板摆放方向与具体位置，通过所述A工作区域内的四个校准定位块在A工作区域内从纵向上快速校准定位，通过所述A工作区域内的四个循迹参考定位块在A工作区域内从横向上快速进行定位，并通过两两循迹参考定位块间的间隙确定测量的初始位置，完成整个校准过程，实现快速、高效的定位和校准，并具有很好的重复性。
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公开(公告)号：CN108362257B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201810470517.5
申请日：2018-05-17
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种微球旋转夹持装置，主要解决现有原子力显微镜测量范围小，满足不了微球的全表面测量的技术问题。本发明技术方案为：一种微球旋转夹持装置，由X轴旋转夹持端、Y轴旋转夹持端、X向微移动平台及Y向微移动平台组成；所述的X轴旋转夹持端与Y轴旋转夹持端分别通过螺钉固定于Y向微移动平台、X向微移动平台。本发明可以实现微球的夹持，并可以将微球按一定的规律旋转一定的角度进行测量，以扩大原子力显微镜在微球表面的测量范围。
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