一种微纳米标准样板及其循迹方法

    公开(公告)号:CN105865389A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610401901.0

    申请日:2016-06-08

    CPC classification number: G01B21/042

    Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法,其特征在于:所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域;所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识;所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅;所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺,所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向,便于快速定位B区域和C区域,并通过坐标关系实现重复性测量。

    一种微纳米标准样板及其循迹方法

    公开(公告)号:CN105865389B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201610401901.0

    申请日:2016-06-08

    Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法,其特征在于:所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域;所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识;所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅;所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺,所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向,便于快速定位B区域和C区域,并通过坐标关系实现重复性测量。

    一种应用于仪器的防护外罩

    公开(公告)号:CN105387882A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510759877.3

    申请日:2015-11-10

    CPC classification number: G01D11/26

    Abstract: 本发明公开了一种应用于仪器的防护外罩,包括:一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接;和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部;其中,所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖,并且,该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接,该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时,可扩大仪器的计量测试视野和作业空间,便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时,罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间,能够为仪器提供优良的实验环境。

    一种应用于仪器的防护外罩

    公开(公告)号:CN205120148U

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201520890431.X

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种应用于仪器的防护外罩,包括:一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接;和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部;其中,所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖,并且,该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接,该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时,可扩大仪器的计量测试视野和作业空间,便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时,罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间,能够为仪器提供优良的实验环境。

    一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110726378B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN201911100142.4

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法,在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。

    一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置

    公开(公告)号:CN117006950A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311081467.9

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置,包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统,所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动,所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器,所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统,由信号处理系统对干涉信号进行数据处理,获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。

    一种多仪器组合测量系统的校准方法

    公开(公告)号:CN113310445A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202110576171.9

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明涉及一种多仪器组合测量系统的校准方法,采用多齿分度台作为标准器校准多仪器组合测量系统的坐标系旋转误差;采用带有激光干涉仪的直线导轨作为标准器校准多仪器组合测量系统的坐标系平移误差;采用长度标尺作为标准器校准多仪器组合测量系统的公共测量点和非公共测量点的空间距离长度误差。本发明弥补了现有单台测量仪器的校准方法不能直接应用于多仪器组合测量系统的校准的问题,保障了多仪器组合测量系统的量值统一、准确可靠,助力多仪器组合测量系统的研发升级和现场应用。

    基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法

    公开(公告)号:CN111487441A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN202010451028.2

    申请日:2020-05-25

    Abstract: 本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,原子力显微镜扫描头固定设置,在测量过程中静止不动,原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号,原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器,平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测,计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见,本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,能够方便地进行测量,测量过程中,原子力显微镜扫描头保持静止,避免了振动导致的测量误差,提高了测量准确性。

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