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公开(公告)号:CN110726378A
公开(公告)日:2020-01-24
申请号:CN201911100142.4
申请日:2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法,在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号:CN110726378B
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN201911100142.4
申请日:2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法,在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号:CN111780850B
公开(公告)日:2022-02-15
申请号:CN202010661539.7
申请日:2020-07-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国船舶重工集团公司第七0四研究所
IPC: G01G23/01
Abstract: 本发明公开了一种具有双称量部的称量台及质量比较仪,所述具有双称量部的称量台包括,称量部和配衡部,其中所述称量部和所述配衡部独立设置,所述称量部用于放置待测量砝码,所述配衡部用于放置配衡砝码。其中所述具有双称量部的所述称量台的所述称量部和所述配衡纵向阶梯设置,所述配衡部能够在进行称量的时候进行配衡,以提高测量结果的精度以及满足质量比较仪非连续称量的需求。
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公开(公告)号:CN111780850A
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN202010661539.7
申请日:2020-07-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国船舶重工集团公司第七0四研究所
IPC: G01G23/01
Abstract: 本发明公开了一种具有双称量部的称量台及质量比较仪,所述具有双称量部的称量台包括,称量部和配衡部,其中所述称量部和所述配衡部独立设置,所述称量部用于放置待测量砝码,所述配衡部用于放置配衡砝码。其中所述具有双称量部的所述称量台的所述称量部和所述配衡纵向阶梯设置,所述配衡部能够在进行称量的时候进行配衡,以提高测量结果的精度以及满足质量比较仪非连续称量的需求。
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公开(公告)号:CN210922540U
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN201921943497.5
申请日:2019-11-12
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置,在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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