一种微纳米标准样板及其循迹方法

    公开(公告)号:CN105865389B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201610401901.0

    申请日:2016-06-08

    Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法,其特征在于:所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域;所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识;所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅;所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺,所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向,便于快速定位B区域和C区域,并通过坐标关系实现重复性测量。

    一种应用于仪器的防护外罩

    公开(公告)号:CN105387882A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510759877.3

    申请日:2015-11-10

    CPC classification number: G01D11/26

    Abstract: 本发明公开了一种应用于仪器的防护外罩,包括:一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接;和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部;其中,所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖,并且,该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接,该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时,可扩大仪器的计量测试视野和作业空间,便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时,罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间,能够为仪器提供优良的实验环境。

    一种微纳米标准样板及其循迹方法

    公开(公告)号:CN105865389A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610401901.0

    申请日:2016-06-08

    CPC classification number: G01B21/042

    Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法,其特征在于:所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域;所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识;所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅;所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺,所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向,便于快速定位B区域和C区域,并通过坐标关系实现重复性测量。

    一种应用于仪器的防护外罩

    公开(公告)号:CN205120148U

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201520890431.X

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种应用于仪器的防护外罩,包括:一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接;和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部;其中,所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖,并且,该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接,该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时,可扩大仪器的计量测试视野和作业空间,便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时,罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间,能够为仪器提供优良的实验环境。

    一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置

    公开(公告)号:CN117006950A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311081467.9

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置,包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统,所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动,所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器,所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统,由信号处理系统对干涉信号进行数据处理,获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。

    一种透射元件多表面面形检测方法

    公开(公告)号:CN109307480B

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201811163319.0

    申请日:2018-09-30

    Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

    一种透射元件多表面面形检测方法

    公开(公告)号:CN109307480A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201811163319.0

    申请日:2018-09-30

    Abstract: 本发明提供一种透射元件多表面面形检测方法,涉及测量技术领域。利用逆向哈特曼光路检测装置测得待测元件波像差的前提下,使用计算机建立的模型化检测系统,在光线追迹模型中对待测元件各表面面形添加多组不同面形误差,获得相应波像差,通过求解模型化检测系统中波像差与实测波像差的差值最小值,最终得到待测透射元件的实际面形误差。本发明解决了现有技术中对透射元件的多表面检测不具有高精度及通用性的技术问题。本发明有益效果为:为透射元件多表面面形检测提供了一种高精度大动态范围的检测方法。

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