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公开(公告)号：CN101813499B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010136209.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置，其特征在于：在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪；三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上，微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触，压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号，再通过信号采集系统和上机软件，建立输入——输出关系图，通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量，实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。
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公开(公告)号：CN116625193A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310588296.2
申请日：2023-05-23
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
IPC: G01B5/02
Abstract: 本发明涉及一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置及方法，通过采用两台共聚焦显微镜直接定位量块的两个测量面，实现量块长度的测量，无需借助辅助面，避免了采用其他原理单方向测量时存在的量块与辅助面研合间隙造成的测量误差，结果更为准确可靠。本发明涉及的一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置采用两台共聚焦显微镜对顶测量的方式，通过定位量块两个测量面实现测量，无需进行全范围扫描，仅需在量块的测量面附近进行慢速扫描，其余位置均可快速移动，在测量长度较长的量块时，可有效提升测量效率。
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公开(公告)号：CN115372368A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211002888.3
申请日：2022-08-19
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种亚表面多参数纳米标准样板及其制备方法，包括用于定位寻找校准位置的X向循迹标记、Y向循迹标记和对准标记，用于校准的Z向台阶校准区域、一维栅格校准区域和二维栅格校准区域，使用本发明的一种亚表面多参数纳米标准样板进行仪器校准时，可借助循迹标记和对准标记快速分辨当前位置并定位到待测区域，可用于共聚焦显微镜、白光干涉显微镜、超声原子力显微镜等亚表面测量仪器的校准及溯源，为亚表面几何参数测量中的量值准确性提供保障，助力半导体、精密制造、国防军工等战略性新兴产业的发展，具有高度产业利用价值。
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公开(公告)号：CN109238155A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811296986.6
申请日：2018-11-01
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中国计量大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明为一种采用等效物理结构模型测量SiO2薄膜厚度的方法，其特征在于：所述测量SiO2薄膜厚度的方法是基于椭偏法采用微纳米薄膜厚度标准样片结合等效物理结构模型进行测量Si/SiO2薄膜的厚度，所述的等效物理结构模型是根据Si/SiO2薄膜的实际多层膜物理结构模型建立的简化等效物理结构模型，实际多层膜物理结构模型顺序包括表面粗糙层、SiO2薄膜层、中间混合层及Si基底，其中所述的中间混合层为Si基底与SiO2薄膜层之间反应产生的SixOy产物膜层。本发明可保证不同厂家、型号的椭偏仪建立薄膜物理结构模型的统一性与结果的一致性，为建立和完善微纳米薄膜量值溯源体系奠定基础。
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公开(公告)号：CN106017349A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610401870.9
申请日：2016-06-08
Applicant: 中国计量大学 , 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明为一种基于白光干涉术的测试系统及其测试方法，其特征在于：所述的测试系统包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、压电陶瓷控制器、气浮平台、白光卤素光源和PC机。本发明的测试方法通过PC机操作压电陶瓷控制器控制压电陶瓷带动被测样品进行垂直扫描，使干涉条纹扫过被测区域，并由数字CCD摄像机记录采集的图像；PC机对采集的图像滤波后提取单个像素点的白光干涉信号，减去得到的白光干涉条纹的背景光强值，对各像素点的光强进行时域到频域的转换，在频域内做分解，得到波数和相位的关系；通过综合干涉信号频域内波数与相位信息从而得到零光程差的位置，实现表面高度信息的提取。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105865389A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610401901.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测工程设备监理有限公司
IPC: G01B21/04
CPC classification number: G01B21/042
Abstract: 本发明为一种微纳米标准样板及其循迹方法，其特征在于：所述的微纳米标准样板包括A区域、B区域和C区域三个工作区域；所述的A区域设有向上的箭头形状的循迹标识；所述的B区域设有不同计量尺寸的第一矩阵阵列光栅和第二矩阵阵列光栅；所述的C区域设有不同计量尺寸的第一横向刻度尺、第二横向刻度尺、第三横向刻度尺和第四横向刻度尺，所述的C区域还设有四个等腰直角三角形形状的循迹标识。所述A区域的向上的箭头形状的循迹标识实现了在测量前快速定位微纳米标准样板并确定样板的正交扫描方向，便于快速定位B区域和C区域，并通过坐标关系实现重复性测量。
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公开(公告)号：CN103075951B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210557826.9
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
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公开(公告)号：CN103075951A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210557826.9
申请日：2012-12-20
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本发明为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本发明弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。
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公开(公告)号：CN101968350B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010274175.3
申请日：2010-09-07
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中华人民共和国福建出入境检验检疫局
Abstract: 本发明为一种二维线间隔的正交角度提取方法，其特征在于包含如下步骤：确定纵向为待测方向；将二维线间隔看成沿纵向重复结构的一维线间隔；以任意参考方向为基准，分别沿纵向以很小偏转角度a1和a2获取线间隔的采样曲线；用傅立叶变换提取采样曲线的频率，计算线间隔在角度a1和a2上的长度l1和l2；按照公式计算出的角度a就是纵向与参考方向的夹角。确定横向为待测方向，以上述相同步骤计算出角度b就是横向与述参考方向的夹角，按照公式c＝|b-a|确定二维线间隔的正交方向夹角，完成测量。本发明能够快速准确的确定二维线间隔的正交方向，降低由于角度偏差带来的二维线间隔节距和两轴夹角的测量值的误差。
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公开(公告)号：CN101968350A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN201010274175.3
申请日：2010-09-07
Applicant: 上海市计量测试技术研究院 , 中华人民共和国福建出入境检验检疫局
Abstract: 本发明为一种二维线间隔的正交角度提取方法，其特征在于包含如下步骤：确定纵向为待测方向；将二维线间隔看成沿纵向重复结构的一维线间隔；以任意参考方向为基准，分别沿纵向以很小偏转角度a1和a2获取线间隔的采样曲线；用傅立叶变换提取采样曲线的频率，计算线间隔在角度a1和a2上的长度l1和l2；按照公式计算出的角度a就是纵向与参考方向的夹角。确定横向为待测方向，以上述相同步骤计算出角度b就是横向与述参考方向的夹角，按照公式c＝|b-a|确定二维线间隔的正交方向夹角，完成测量。本发明能够快速准确的确定二维线间隔的正交方向，降低由于角度偏差带来的二维线间隔节距和两轴夹角的测量值的误差。
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