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公开(公告)号：CN116783474B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202180086549.5
申请日：2021-12-24
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/88 , G03F7/20 , G01N21/956 , G01N21/95
Abstract: 一种叠盖度量系统可包含照明子系统，所述照明子系统用以利用第一照明瓣及与所述第一照明瓣对置的第二照明瓣依序对叠盖目标进行照明，其中所述叠盖目标包含从第一样本层及第二样本层上的周期性结构形成的光栅上覆光栅特征。所述系统可进一步包含用以产生所述叠盖目标的第一图像及第二图像的成像子系统。所述第一图像包含所述光栅上覆光栅结构的从所述第一照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述第二图像包含所述一或多个光栅上覆光栅结构的从所述第二照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述系统可进一步包含用以基于所述第一图像及所述第二图像而确定所述第一层与所述第二层之间的叠盖误差的控制器。
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公开(公告)号：CN119317877A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202380042905.2
申请日：2023-11-07
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 一种叠加计量系统可包含物镜、用以照明叠加目标的照明光学器件，所述叠加目标包含在第一样本层上的具有第一节距的第一光栅及在第二样本层上的具有第二节距的第二光栅，其中所述第一样本层与所述第二样本层分离达大于所述物镜的景深的层分离距离。所述系统可进一步包含具有径向变化的散焦分布以补偿所述层分离距离使得所述第一光栅及所述第二光栅同时聚焦于检测器上的集光光学器件。
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公开(公告)号：CN117480377B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202280038375.X
申请日：2022-08-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/47 , G01B11/27 , G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 一种叠加计量工具可包含照明源，其用于产生具有第一线性偏振的第一照明光束分布及具有正交于所述第一线性偏振的第二线性偏振的第二照明光束分布；照明子系统，其用于依序照明具有正交定向的光栅叠置结构的样本上的叠加目标的两个或更多个单元对；集光子系统，其具有用于捕获来自经照明单元对的经收集光的两个集光通道；及滤波光学器件，其用于将来自经照明单元对中的不同单元的光引导到不同集光通道以供检测。所述工具可进一步包含用于产生所述两个或更多个单元对中的正交定向的光栅叠置结构的分开的叠加测量的控制器。
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公开(公告)号：CN116897283A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202280017626.6
申请日：2022-04-18
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/956
Abstract: 一种叠加计量系统可包含适合于测量样本上的叠加目标的叠加计量工具，所述叠加目标包含具有沿着一或多个测量方向分布的图案化特征的一或多个光栅结构。所述叠加计量工具可包含物镜及照明通路以用分布在一或多个照明分布当中的两个或更多个倾斜照明波瓣来照明所述叠加目标，使得对于所述测量方向中的每一者，所述叠加目标对由所述物镜收集的所述一或多个照明分布的衍射级排他地包含来自所述两个或更多个照明波瓣中的至少一者的0级衍射波瓣及单个一级衍射波瓣。所述叠加计量工具可进一步包含用以将所述样本成像的至少一个检测器以及用以基于所述图像来产生叠加测量的控制器。
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公开(公告)号：CN113939772A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080040950.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G03F7/20 , G01N21/956 , G01N21/95 , H01L21/66
Abstract: 一种计量系统可包含经耦合到扫描计量工具的控制器，所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。所述控制器可从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像，其中所述计量目标包括：第一测量群组，其包含沿着正交于所述扫描方向的横向分布的单元；及第二测量群组，其沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，所述第二测量群组包含沿着所述横向方向分布的单元，所述第二测量群组。所述控制器可进一步基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第一计量测量，及基于所述第二计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第二计量测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118311056A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410419802.X
申请日：2021-06-29
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , A·V·希尔 , Y·瓦克宁 , Y·西蒙 , D·内格里 , V·莱温斯基 , Y·帕斯卡维尔 , A·戈洛塔斯万 , N·罗斯曼 , N·K·雷迪 , N·本大卫 , A·阿布拉莫夫 , D·雅科夫 , Y·于齐耶尔 , N·古特曼
IPC: G01N21/956 , H01L21/66 , G01N21/88 , G01N21/95 , G03F7/00
Abstract: 本申请涉及增强重叠计量的性能。一种用于计量的方法包含引导至少一个照明射束照明半导体晶片，在所述半导体晶片上已相继沉积了至少第一经图案化层及第二经图案化层，包含所述第一经图案化层中的第一目标特征及所述第二经图案化层中的重叠在所述第一目标特征上的第二目标特征。在使一或多个成像参数变化的同时捕获所述第一目标特征及所述第二目标特征的一序列的图像，此变化是在整个所述序列期间发生。处理所述序列中的所述图像，以便识别所述图像中所述第一目标特征及所述第二目标特征的相应对称中心且测量所述对称中心随变化的图像参数的变化。在测量所述第一经图案化层与所述第二经图案化层之间的重叠误差时应用经测量变化。
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公开(公告)号：CN117480377A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202280038375.X
申请日：2022-08-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/47
Abstract: 一种叠加计量工具可包含照明源，其用于产生具有第一线性偏振的第一照明光束分布及具有正交于所述第一线性偏振的第二线性偏振的第二照明光束分布；照明子系统，其用于依序照明具有正交定向的光栅叠置结构的样本上的叠加目标的两个或更多个单元对；集光子系统，其具有用于捕获来自经照明单元对的经收集光的两个集光通道；及滤波光学器件，其用于将来自经照明单元对中的不同单元的光引导到不同集光通道以供检测。所述工具可进一步包含用于产生所述两个或更多个单元对中的正交定向的光栅叠置结构的分开的叠加测量的控制器。
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公开(公告)号：CN111095509B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201880050636.3
申请日：2018-07-25
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66 , H01L23/544
Abstract: 一种叠加计量系统包含可配置以运用多个配方来产生叠加信号的叠加计量工具，且进一步将照明光束引导至叠加目标，并响应于所述照明光束的至少一部分而收集从所述叠加目标发散的辐射，以运用特定配方来产生所述叠加信号。所述叠加计量系统进一步使用两个或多于两个独特配方而针对第一叠加目标获取两个或多于两个叠加信号，随后使用所述两个或多于两个独特配方而针对第二叠加目标获取两个或多于两个叠加信号，针对每一目标基于所述两个或多于两个叠加信号而针对所述第一及第二叠加目标确定候选叠加，且针对每一目标基于所述两个或多于两个候选叠加而针对所述第一及第二叠加目标确定输出叠加。
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公开(公告)号：CN112840202A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980065223.7
申请日：2019-10-15
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种多极照明系统，其可包含：照明源，其用于产生源光束；一或多个声光偏转器，其用于沿至少两个方向衍射所述源光束；一或多个收集透镜，其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分；及控制器，其用于产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号。例如，所述一或多个驱动信号可引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由第一方向及第二方向形成的平面中对称。
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公开(公告)号：CN111095509A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880050636.3
申请日：2018-07-25
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66 , H01L23/544
Abstract: 一种叠加计量系统包含可配置以运用多个配方来产生叠加信号的叠加计量工具，且进一步将照明光束引导至叠加目标，并响应于所述照明光束的至少一部分而收集从所述叠加目标发散的辐射，以运用特定配方来产生所述叠加信号。所述叠加计量系统进一步使用两个或多于两个独特配方而针对第一叠加目标获取两个或多于两个叠加信号，随后使用所述两个或多于两个独特配方而针对第二叠加目标获取两个或多于两个叠加信号，针对每一目标基于所述两个或多于两个叠加信号而针对所述第一及第二叠加目标确定候选叠加，且针对每一目标基于所述两个或多于两个候选叠加而针对所述第一及第二叠加目标确定输出叠加。
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