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公开(公告)号：CN112840202B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201980065223.7
申请日：2019-10-15
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种多极照明系统，其可包含：照明源，其用于产生源光束；一或多个声光偏转器，其用于沿至少两个方向衍射所述源光束；一或多个收集透镜，其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分；及控制器，其用于产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号。例如，所述一或多个驱动信号可引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由第一方向及第二方向形成的平面中对称。
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公开(公告)号：CN117480377B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202280038375.X
申请日：2022-08-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/47 , G01B11/27 , G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 一种叠加计量工具可包含照明源，其用于产生具有第一线性偏振的第一照明光束分布及具有正交于所述第一线性偏振的第二线性偏振的第二照明光束分布；照明子系统，其用于依序照明具有正交定向的光栅叠置结构的样本上的叠加目标的两个或更多个单元对；集光子系统，其具有用于捕获来自经照明单元对的经收集光的两个集光通道；及滤波光学器件，其用于将来自经照明单元对中的不同单元的光引导到不同集光通道以供检测。所述工具可进一步包含用于产生所述两个或更多个单元对中的正交定向的光栅叠置结构的分开的叠加测量的控制器。
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公开(公告)号：CN117480377A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202280038375.X
申请日：2022-08-19
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/47
Abstract: 一种叠加计量工具可包含照明源，其用于产生具有第一线性偏振的第一照明光束分布及具有正交于所述第一线性偏振的第二线性偏振的第二照明光束分布；照明子系统，其用于依序照明具有正交定向的光栅叠置结构的样本上的叠加目标的两个或更多个单元对；集光子系统，其具有用于捕获来自经照明单元对的经收集光的两个集光通道；及滤波光学器件，其用于将来自经照明单元对中的不同单元的光引导到不同集光通道以供检测。所述工具可进一步包含用于产生所述两个或更多个单元对中的正交定向的光栅叠置结构的分开的叠加测量的控制器。
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公开(公告)号：CN112840202A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980065223.7
申请日：2019-10-15
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种多极照明系统，其可包含：照明源，其用于产生源光束；一或多个声光偏转器，其用于沿至少两个方向衍射所述源光束；一或多个收集透镜，其用于收集从所述一或多个声光偏转器衍射的所述光的至少部分；及控制器，其用于产生用于所述一或多个声光偏转器的一或多个驱动信号。例如，所述一或多个驱动信号可引起所述一或多个声光偏转器产生两个或更多个照明光束的对称分布，所述照明光束由从所述一或多个声光偏转器衍射且由所述一或多个收集透镜收集的光形成，其中所述两个或更多个照明光束的波长及强度的分布在由第一方向及第二方向形成的平面中对称。
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