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公开(公告)号：CN116917715A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280018258.7
申请日：2022-02-25
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , I·萨利布 , R·约哈南 , D·沙皮罗乌 , E·哈贾 , V·莱温斯基 , A·阿布拉莫夫 , M·申迪思 , A·希尔德斯海姆 , Y·格劳尔 , S·艾森巴赫 , E·拉维特 , I·尼尔
IPC: G01N21/35
Abstract: 一种光学计量工具可包含：一或多个照射源，其用以产生既具有短波红外线(SWIR)光谱范围内又具有所述SWIR光谱范围外的波长的照射；照射光学器件，其经配置以将所述照射引导到样本；第一成像通道，其包含经配置以基于包含所述SWIR光谱范围中的至少一些波长的第一波长范围将所述样本成像的第一检测器；第二成像通道，其包含经配置以基于包含所述SWIR光谱范围外的至少一些波长的第二波长范围将所述样本成像的第二检测器；及控制器。所述控制器可从所述第一检测器接收所述样本的第一图像，从所述第二检测器接收所述样本的第二图像，并基于所述第一图像及所述第二图像来产生所述样本的光学计量测量。
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公开(公告)号：CN118435024A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202380015205.4
申请日：2023-03-28
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01B11/27 , G01N21/88 , G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 一种计量系统包含成像系统。所述成像系统可包含物镜。所述计量系统可包含一或多个检测器。所述计量系统可包含结构上耦合到所述物镜且经配置以经由沿所述计量系统的光轴移动来调整所述一或多个检测器中的至少一者的焦平面的物镜定位载台。所述计量系统可包含经配置以当所述物镜定位载台沿所述光轴移动时测量载台元件的侧向位置的一或多个接近传感器。所述计量系统可经配置以当实施计量配方时使用所述载台元件的图像及侧向位置来确定与样本上的目标相关联的计量测量。
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公开(公告)号：CN112567296A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201880096229.6
申请日：2018-12-14
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G03F7/20 , G02B7/38 , G01N21/47 , G01N21/952
Abstract: 本发明提供增强测量的准确度且能够简化测量过程及改进计量目标与半导体装置之间的对应性的计量方法及工具。方法包含：以利特罗(Littrow)配置照明目标以产生包含‑1衍射级及0衍射级的第一测量信号及包含+1衍射级及0衍射级的第二测量信号，其中所述第一测量信号的所述‑1衍射级及所述第二测量信号的所述+1衍射级与所述照明的方向成180°衍射；执行所述第一测量信号的第一测量及所述第二测量信号的第二测量；及从所述第一测量及所述第二测量导出(若干)计量度量。任选地，反射0衍射级可经分裂以产生与所述‑1及+1衍射级相互作用的分量。
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公开(公告)号：CN113939902A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080040851.2
申请日：2020-06-17
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 一种第一x‑y平移载物台、一种第二x‑y平移载物台及一种卡盘安置于腔室中。所述卡盘位于所述第二x‑y平移载物台上方且耦合到所述第二x‑y平移载物台，所述第二x‑y平移载物台位于所述第一x‑y平移载物台上方且耦合到所述第一x‑y平移载物台。所述卡盘经配置以支撑衬底且通过所述第一x‑y载物台及所述第二x‑y载物台在x方向及y方向上平移，所述x方向及所述y方向基本上平行于所述卡盘的其上将安装所述衬底的表面。第一屏障及第二屏障也安置于所述腔室中。所述第一屏障耦合到所述第一x‑y平移载物台以使所述腔室的第一区域与所述腔室的第二区域分离。所述第二屏障耦合到所述第二x‑y平移载物台以使所述腔室的所述第一区域与所述腔室的第三区域分离。
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公开(公告)号：CN113519047A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN201980093474.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开一种适用于将晶片保持在所要位置及定向中的真空压紧设备，所述设备包含：真空卡盘组合件，其界定具有真空连通孔隙的真空卡盘表面；文氏管(venturi)真空产生器，其相对于所述真空卡盘组合件固定且经由所述真空连通孔隙与所述真空卡盘表面连通；及正压流体管线，其与所述文氏管真空产生器连通。
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