公开(公告)号：CN116917715A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280018258.7

申请日：2022-02-25

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·玛纳森 ,  I·萨利布 ,  R·约哈南 ,  D·沙皮罗乌 ,  E·哈贾 ,  V·莱温斯基 ,  A·阿布拉莫夫 ,  M·申迪思 ,  A·希尔德斯海姆 ,  Y·格劳尔 ,  S·艾森巴赫 ,  E·拉维特 ,  I·尼尔

IPC: G01N21/35

Abstract: 一种光学计量工具可包含：一或多个照射源，其用以产生既具有短波红外线(SWIR)光谱范围内又具有所述SWIR光谱范围外的波长的照射；照射光学器件，其经配置以将所述照射引导到样本；第一成像通道，其包含经配置以基于包含所述SWIR光谱范围中的至少一些波长的第一波长范围将所述样本成像的第一检测器；第二成像通道，其包含经配置以基于包含所述SWIR光谱范围外的至少一些波长的第二波长范围将所述样本成像的第二检测器；及控制器。所述控制器可从所述第一检测器接收所述样本的第一图像，从所述第二检测器接收所述样本的第二图像，并基于所述第一图像及所述第二图像来产生所述样本的光学计量测量。